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| 品牌ADL | 有效期至长期有效 | 最后更新2026-10-27 15:57 |
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ADL 离子束工艺电源 ½‑19 英寸 3HU 风冷机架 离子束刻蚀溅射微电子光学镀膜直流电源
ADL GG/GIP/GDI/GC 离子源电源适配考夫曼 Kaufman、ECR 离子源的成套专用直流电源，包含加速器、束流、中和器、放电、阴极五大功能单元；½‑19 英寸、3HU 风冷机架机型；支持本地面板操作 + 远程接口控制；可按需定制输出电压与功率。
型号、输出参数及订货号
| 型号 | 功能单元 | 功率 | 输出规格 | 订货号 |
|---|---|---|---|---|
| GG 03 Accelerator | 加速器电源 | 300 W | 负高压 1000V，300 mA | 09Z001 |
| GG 03.1 Accelerator | 加速器电源 | 30 W | 负高压 1000V，30 mA | 09Z002 |
| GG 08 Accelerator | 加速器电源 | 800 W | 负高压 1000V，800 mA | 09Z005 |
| GG 12 Beam | 束流电源 | 1.2 kW | 正高压 2000V，1 A | 09Z011 |
| GG 12.1 Beam | 束流电源 | 200 W | 正高压 2000V，100 mA | 09Z012 |
| GIP 10 Neutralizer | 中和器电源 | 990W/25W/25W | 33V‑30A；25V‑1A；25V‑1A | 09Z021 |
| GIP 10.1 Neutralizer | 中和器电源 | 990W/2.5W | 33V‑30A；25V‑0.1A | 09Z022 |
| GDI 09 Discharge | 放电电源 | 900 W | 150V，6A，浮地** 2kV | 09Z031 |
| GC 10 Cathode | 阴极电源 | 1 kW | 35V，30A，浮地** 2kV | 09Z051 |
核心特点
离子源整套配套：覆盖离子源全部供电回路：加速器、束流、中和器、放电、阴极；适配考夫曼、ECR 类型离子源。
控制模式：
GG 加速器 / 束流：恒压 / 恒流；
GC10 阴极：恒压 / 恒流 / 恒功率；
GDI09 放电：恒压 / 恒流；
GIP 中和器：发射电流、灯丝电流控制。
操作方式：前面板本地手动调节，或外部接口远程控制；设定范围 0‑100% 额定值；输出精度±1% 满量程；标配 3 位半数显，显示电压、电流、发射 / 灯丝电流。
整机风冷散热，内置风扇；风扇噪声 LpA＜70 dB (A)；**环境工作温度 40 ℃。
机箱统一规格：½‑19"，3HU；尺寸宽 218 mm × 高 132.5 mm × 深 560 mm；整机重量 11 kg。
供电：单相 230V ±10%，50/60Hz；视在功耗 100‑1500VA。
通讯接口选件
支持全系列通用接口：AS4 / AS4F / AS6 模拟接口；Profibus‑DP、EtherCAT、RS232‑485。
应用场景
离子束刻蚀、离子束溅射；微电子、光学元器件、传感器制备；各类离子束与等离子体工艺设备。
