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ADL GXB50(订货号 11Z080)22.5kHz 双阴极等离子激励电源 自动消弧镀膜脉冲发生器

品牌 ADL
分类 设备>电源
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供应 原厂
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质保 12个月
供货周期 7-60个工作日
更新 2026-10-26 15:14
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品牌ADL 有效期至长期有效 最后更新2026-10-26 15:14
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ADL GXB50(订货号 11Z080)22.5kHz 双阴极等离子激励电源 自动消弧镀膜脉冲发生器

GXB50 是德国 ADL 原装5 kW 一体化双极性脉冲发生器,内部集成直流电源,无需额外配置外部直流单元,专为双阴极等离子体激发、反应磁控溅射工艺开发,广泛用于真空镀膜、光学薄膜、材料科研、实验室等离子实验场景。

核心工作原理与特点

  1. 输出方波交流电压,固定脉冲频率 22.5 kHz;脉冲导通 / 关断时间自动控制,无需用户预设。

  2. 内置电流比例控制器,通过 PWM 脉宽调制自动调节正负半波功率配比,适配对称、非对称工艺。

  3. 自动抑弧功能:灭弧阈值、断开时间根据工艺自动适配;灭弧时间<2 μs,断开时间 2‑20 μs;每千瓦电弧能量<0.3 mJ(输出电感 3 μH 条件)。用户无需编程设置参数。

  4. 冷却:主水冷,辅助风冷;水冷流量>1.5 L/min,压力 2‑8 bar,进水温度<40 ℃。

  5. 结构:½‑19 英寸机箱,3HU 高度,紧凑型;净重 22 kg,外形:宽 216 mm × 高 130 mm × 深 520 mm。

  6. 不支持主从并联、外部同步。

关键电气参数

表格

项目参数
额定输出功率5 kW 交流
输出电压±800 V
输出电流±12 A
输出精度电压 / 电流 / 功率:±1 % 满量程
设定点0‑100 % 额定值
供电输入三相 3×400 V ±10 %,50/60 Hz;外部熔断器 3×16 A;约 6 kVA
**允许回路电感(线缆 + 阴极)10 μH


控制接口与选件

控制接口(可选订货号)

  • AS4:模拟量电压 / 电流 / 功率调节(01Y001)

  • AS4F:模拟量 + 高速数据传输(01Y021)

  • AS6:模拟量限值设定(01Y061)

  • Profibus‑DP(01Y160)、EtherCAT(01Y170)、RS232/485(01Y181)

  • 标配:GXB 本地数字显示屏(3 位半,显示电压、电流、功率)

其他附件

  1. 连接器:Harting 直 / 弯插头套件;水冷接头默认 Walther,可选 Festo;Walther 直 / 弯快速接头

  2. 机架配件:19 英寸单台 / 双台安装套件

  3. RC4 远程控制器(06Y401)

散热能力

  • 水冷散热能力 300 W;内置风扇风冷散热能力 100 W;风扇噪声<70 dB (A);**环境温度 40 ℃。


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