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| 品牌ADL | 有效期至长期有效 | 最后更新2026-10-26 15:22 |
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ADL HXB900‑HXB1400 双极性脉冲电源 90‑140kW ±800V 大面积反应溅射镀膜发生器
HXB900‑HXB1400 是德国 ADL 原装大功率一体化中频双极性脉冲电源，功率覆盖 90‑140kW，专为大面积反应磁控溅射镀膜生产线开发，适配*长 4 米长度工业阴极，整机立式机柜结构，适合量产真空设备配套。
型号与订货编码
| 型号 | 功率 | 频率 | 输出电压 | 订货号 |
|---|---|---|---|---|
| HXB 900 | 90 kW | 20 kHz | ±800 V | 14Z210 |
| HXB 1050 | 105 kW | 20 kHz | ±800 V | 14Z020 |
| HXB 1200 | 120 kW | 20 kHz | ±800 V | 14Z030 |
| HXB 1400 | 140 kW | 20 kHz | ±800 V | 14Z040 |
核心特点
功率配比控制：支持阴极功率自动对称均衡；非对称脉冲功率比例可设置 10:90%，优化镀膜质量、延长靶材寿命。
全自动电弧管理：自动识别工艺参数，动态调整抑弧；灭弧时间＜2 μs，电弧能量＜0.3 mJ/kW；**可处理2000 次 / 秒电弧，具备功率自动补偿。工艺重现性** 2 %；更换靶材无需手动调整参数。
固定脉冲频率20 kHz，脉冲关断时间 2‑20 μs（自动设置）。
支持多台并联运行，可搭配 MD4 主显示器，*多管控 4 台设备。
大功率水冷为主、风扇辅助风冷；可在无空调环境稳定工作。
关键电气参数
输出电流：HXB900：180A；HXB1050：210A；HXB1200：240A；HXB1400：280A
控制模式：电流 / 电压 / 功率控制，带点火自动控制；输出精度 ±1 % 满量程
允许**回路输出电感：10 μH
供电：标准三相 3×400V ±10%，50/60Hz；可选 3×440V /3×480V；整机视在功率 100~155 kVA，配套对应规格外部熔断器与动力电缆。
可按需定制其他电压、电流等级。
冷却条件
水冷：HXB900＞15 L/min；HXB1050‑1400＞20 L/min；压力 4‑8 bar，进水温度＜40 ℃；水冷接口 1" 内螺纹；需接入 4‑8 bar 压缩空气。
整机柜体：33HU 立式机柜；外形 高 1800 mm × 宽 600 mm × 深 830 mm；重量 430‑500 kg；**环境温度 40 ℃。
控制接口及选件
通讯接口（同 GXB50 系列）：AS4 / AS4F / AS6 模拟接口；Profibus‑DP、EtherCAT、RS232/485。
显示单元：MD4 主显示器（*多 4 台并联）、PD1 脉冲发生器显示器。
其他选件：顶部进线套件、不同电压规格电源配置。
应用场景
长阴极反应磁控溅射、大面积工业真空镀膜生产线。
