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| 品牌ADL | 有效期至长期有效 | 最后更新2026-10-26 15:48 |
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ADL SB 系列脉冲发生器 自动功率配比抑弧 ½‑19 英寸机架式 双磁控靶材溅射脉冲变换装置
SB 系列属于脉冲转换单元，本身不带直流电源，需要外接 GX/HX 系列直流电源配套使用，用于磁控溅射双靶反应镀膜工艺。
型号及订货号
| 型号 | 交流输出功率 | 频率 | 电压 | 订货号 |
|---|---|---|---|---|
| SB 150 | 15 kW | 20 kHz | 800 V | 11Z070 |
| SB 300 | 35 kW | 20 kHz | 800 V | 11Z050 |
核心功能亮点
工作模式：既可作为中频发生器输出对称交流，也可输出非对称方波双极性脉冲；内置功率比例控制器，依靠 PWM 脉宽调制自动调节脉冲时长。
应用价值：对双磁控靶做功率均衡，延长靶材寿命；支持两种不同靶材的非对称脉冲工艺，无需用户编程设置参数。
自动抑弧系统：灭弧时间＜2 μs，电弧能量＜0.3 mJ/kW；抑弧阈值、断开时间自动适配工艺。
多机自动同步：通过控制线缆连接多台设备，可自动切换外部同步模式；支持并联，组合输出功率可达 280 kW。
水冷为主、内置风扇辅助风冷；紧凑型 ½‑19 英寸机箱，3HE 高度。
关键电气参数
直流输入： DC 800 V；SB150 直流输入电流 38A；SB300 直流输入电流 70A
固定脉冲频率：20 kHz
回路电感（线缆 + 阴极）≤10 μH；脉冲发生器到阴极线缆*长 5 m
辅助供电：24 VDC ±10 %，1.5A
显示：状态 LED 指示灯（标配）
配套直流电源要求：
SB150 适配：GX60‑GX150（不能超过 800V /38A）
SB300 适配：HX150‑HX300（不能超过 800V /70A）
直流电源必须具备 X4P 脉冲发生器专用接口。
冷却与机械参数
水冷：流量＞1.5 L/min，压力 2‑8 bar，进水温度＜40 ℃；默认 Festo 接头，可选 Walther 接头
外形：宽 218 mm（½19"）× 高 130 mm（3HE）× 长 645 mm；整机净重 23 kg
环境温度 40 ℃
选件附件
Harting 直头 / 弯头连接器套件（SB150、SB300 分开型号）
Festo / Walther 水冷快速接头、直 / 弯水接头
