ADL HX150‑HX350/HX900‑HX1400 支持多机并联至 280kW全自动抑弧工业真空溅射电源

HX 系列分为两大子系列：HX150‑HX350（½‑19" 5HU 模块式）、HX900‑HX1400（33HU 立式机柜式），德国 ADL 原装水冷大功率直流电源，面向工业磁控溅射镀膜；可直接对接 SB300 / HXB 脉冲发生器作为直流输入源，支持多机并联扩容。

一、两大子系列定位

1. HX150‑HX350（15‑35 kW，半 19 英寸模块机型）½‑19"，5HU 高度；带安装法兰与 M8 吊环螺纹，无需机柜，可竖直 / 水平任意姿态直接挂载等离子腔体；显示屏可旋转、可拆卸；支持主‑从、接口组合器、PLC 多种并联方式，**扩容至 280 kW；适合产线设备本体集成、空间紧凑的工况adl-gmbh.c...。 冷却：水冷为主 + 辅助风冷；水冷流量＞3 L/min，2‑8 bar，进水温度＜40℃；内置温控可外接电磁阀，防止内部凝露；机箱带颗粒分离器。 灭弧：全自动电弧管理，灭弧 6 μs‑3 ms 自动调节，无需人工设置抑弧参数。 供电：三相 3×400V，可选 3×440V / 480V；输出精度 ±1% 满量程；控制模式：恒压、恒流、恒功率；仅外部接口远程控制。 通讯：AS4/AS4F/AS6 模拟接口，Profibus‑DP、EtherCAT、RS232‑485；可配 MD4/MD8 主显示器做多台集中管控。

2. HX900‑HX1400（90‑140 kW，立式整机机柜）33HU 标准立式机柜，尺寸 1800×600×830 mm；针对*长 4 米阴极的大面积非反应镀膜产线；额定效率高达 95%；每秒**处理 40000 次电弧，2000 次 / 秒电弧下可自动功率补偿，快速清除靶材氧化膜；适合大型玻璃、卷对卷量产产线。 冷却：大功率水冷，HX900 流量＞15 L/min，HX1050‑1400＞20 L/min，4‑8 bar，进水＜40℃，需配套 4‑8bar 压缩空气。 控制：恒压 / 恒流 / 恒功率，增加带自动点火的电压控制；远程接口控制；支持 MD4/MD8 集中管理多机柜并联系统adl-gmbh.c...。

二、型号简表

HX150‑HX350（模块 15‑35kW）

HX150/400(15kW/400V‑80A‑13Z010)、HX150/500、HX150/600、HX150/800、HX150/1000； HX200/500、HX200/800、HX200/1000； HX250/500、HX250/800、HX250/1000； HX300/800、HX300/1000； HX350/800、HX350/1000。

HX900‑HX1400（机柜 90‑140kW）

HX900(90kW/800V‑180A‑14Z110)、HX1050(105kW)、HX1200(120kW)、HX1400(140kW)。

三、主要选件配件

Harting 直 / 弯连接器套件；Festo/Walther 水冷快速接头；24V 电磁阀组件；Arc‑link、AM2/3、MS4 并联组合器；MD4/MD8 并联主显示器；RC4 远程控制器。

四、典型应用场景

• HX150‑HX350：中大型磁控溅射设备、硬质涂层、工具镀膜、中型光学薄膜产线；可外接 SB300 脉冲单元构成 35kW 双极性脉冲系统；无机柜设备直接腔体安装。

• HX900‑HX1400：大面积建筑玻璃、光伏、卷对卷 R2R、4 米长阴极非反应镀膜生产线；作为 HXB900‑1400 大功率脉冲发生器配套直流电源。