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ADL GSW100‑GSW300 大功率水冷直流电源适配 SB150/SB300 脉冲单元

品牌 ADL
分类 设备>电源
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供应 原厂
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质保 12个月
供货周期 7-60个工作日
更新 2026-10-26 17:41
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品牌ADL 有效期至长期有效 最后更新2026-10-26 17:41
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ADL GSW100‑GSW300 大功率水冷直流电源适配 SB150/SB300 脉冲单元

GSW 系列为水冷大功率直流溅射电源,功率 10‑30 kW,标准 19 英寸 3HU 机架单元;支持无主从并联扩容,**总输出功率可达 240 kW,输出为浮地,可作为 SB150/SB300 脉冲模块的配套直流供电源。

功率型号总览

功率覆盖:10 kW /15 kW /20 kW /25 kW /30 kW;输出电压可选 400‑1000 V 多档位,不同电压对应不同额定输出电流;整机浮地输出。

  • GSW100:10 kW(500V/800V/1000V)

  • GSW150:15 kW(400V~1000V 多电压)

  • GSW200:20 kW(500V~1000V 多电压)

  • GSW250:25 kW(750V‑1000V)

  • GSW300:30 kW(500V‑1000V 多电压)

核心亮点

  1. 无主从并联技术:无需主‑从接线,借助 Arc‑link 配件多台并联,**扩容至 240 kW;

  2. 水冷为主、辅助风冷散热;可在无空调车间稳定运行;

  3. 输出浮地;支持恒压 / 恒流 / 恒功率控制;输出精度 ±1 % 满量程;

  4. 全自动电弧抑制,灭弧时间 6 μs~3 ms,延时 6 μs~10 ms,自动适配工艺,无需人工编程;

  5. 操作方式:前面板本地手动控制,或通过接口远程上位机控制;前面板可选有源数显面板、无源面板、仅状态 LED 三种;

  6. 可选电磁阀控制输出(24 VDC),适配溅射靶材保护等应用。

电气与机械参数

  • 供电:标准三相 3×400 V;可选 3×440 V、3×480 V;视在功率 11‑33 kVA;配 Harting 动力接头;

  • 冷却:水冷流量>3 L/min,压力 2‑8 bar,进水温度<40 ℃;默认 Walther 水接头,可选 Festo;自带风扇辅助散热,噪声<70 dB (A);

  • 机箱:标准 19 英寸、3HU;尺寸宽 445 mm × 高 132.5 mm × 深 768 mm;重量 42‑53 kg;

  • **环境温度 40 ℃。

可选接口与配件

  1. 通讯接口:AS4 / AS4F / AS6 模拟接口;Profibus‑DP、EtherCAT、RS232/485;

  2. 面板:有源 3 位半数显、无源数显、状态 LED;

  3. 机械配件:Harting 直 / 弯连接器套件、水冷接头;Arc‑link 并联组件;阴极钳位二极管;导风罩;RC4 远程控制器;24V 电磁阀组件。

典型应用

中大型磁控溅射生产线直流靶供电;也可作为 SB150/SB300 双极性脉冲单元的配套直流电源。


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