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| 品牌Edwards爱德华 | 有效期至长期有效 | 最后更新2026-08-13 14:15 |
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ELD500氦质谱检漏仪 DRY无油版 WET油式版半导体制冷零部件检漏设备
Edwards爱德华 ELD500 氦质谱检漏仪
ELD500是爱德华便携式氦质谱检漏仪，分为WET油式、DRY无油、FLEX灵活版三种配置，一台设备支持真空喷吹检漏与吸枪嗅探检漏两种工作模式，开机就绪速度快，漏率检测区间宽，配备长寿命离子源，兼顾实验室、半导体、制冷、汽车零部件等多种检漏场景，可单机使用，也可集成至自动化检漏工位。
核心技术参数
| 产品型号 | ELD500（WET/DRY/FLEX）氦质谱检漏仪 |
| 检测模式 | 真空喷吹模式、吸枪嗅探模式 |
| 示踪气体 | 氦气、氢气 |
| 真空模式最小可检漏率 | 5×10⁻¹² mbar·l/s |
| 吸枪嗅探模式最小可检漏率 | 1×10⁻⁷ mbar·l/s |
| 最大可测漏率 | ＞0.1 mbar·l/s |
| 氦气抽速（精细模式） | 3.1 L/s |
| 最大允许进气压力 | 15 mbar |
| 就绪启动时间（20℃） | ≤2 min |
| 漏率信号响应时间 | ＜1 s |
| 进气法兰 | DN25 ISO‑KF（NW25） |
| 供电规格 | 100‑240V AC 50/60Hz宽电压 |
| 冷却方式 | 强制风冷 |
| 防护等级 | IP40 |
| 整机重量 | WET版本40kg；DRY版本30kg；FLEX版本35.5kg |
| 外形尺寸(宽×高×深) | 495 × 456 × 430 mm |
| 操作显示 | 彩色图形触摸屏，多单位切换，漏率趋势柱状图显示 |
| 数据存储 | 本机内存、USB外接存储，测试数据记录导出 |
| 通讯接口 | 数字IO、USB，支持有线/无线远程控制 |
| 标准配置 | 检漏仪主机、电源线、操作手册、出厂校准证书 |
| 可选配件 | 吸枪探头、氦气喷枪、移动推车、远程控制器、波纹管、外接辅助抽气组件 |
产品功能特点
整机提供三种版本可选：WET内置油旋片前级泵，性价比突出；DRY为无油隔膜前级泵，规避油品污染，适配洁净工况；FLEX版本可外接外部前级泵，适配大腔体抽气需求。
真空、嗅探模式一键切换，真空模式用于工件整体漏率定量测试；嗅探模式用于承压工件外部逐点扫描定位漏点，满足定量检测与漏点查找两类需求。设备开机短时间内即可投入检测，信号响应迅速，漏率读数稳定性好，测量可重复性佳。
长寿命离子源设计，延长维护周期，降低后期运维成本；触摸屏交互界面，支持多种漏率单位自由切换，可显示漏率变化趋势柱状图；支持本机存储与USB导出测试记录，方便检测报告归档。
具备完备设备自诊断，故障代码提示，便于现场排查；支持有线、无线远程控制，数字IO接口，可对接上位PLC，既适合实验室现场移动检漏，也可集成自动化产线检漏工位。可选配移动推车，方便多工位转运作业。
主要应用领域
半导体腔体、Load‑Lock真空阀门检漏；真空镀膜、光伏设备密封性检测；制冷空调零部件、汽车管路、压力容器检漏；航空航天元器件；分析仪器、电镜质谱设备；科研真空系统、杜瓦容器、焊缝管路检漏；工业零部件批量密封性检测、第三方检测服务场景。
配套选购提示
洁净工艺优先选用DRY无油版本；大容积腔体建议选配外接辅助抽气组件；吸枪、喷枪、移动推车均为选配配件；工件进气压力不可超过最大允许进气压力；按照周期完成校准与离子源维护，保障检测精度。
