Edwards nXDS20i干式涡旋真空泵 爱德华大抽速无油分子泵检漏仪前级泵

Edwards爱德华 nXDS20i 大抽速干式涡旋泵

nXDS20i为爱德华nXDS系列大抽速无油涡旋干式真空泵，泵腔内部无润滑油，内置集成变频驱动，相比nXDS10i拥有更大抽气速率，配备可调气镇结构，可处理水汽与部分可凝溶剂蒸汽，支持现场维护，适合大腔体预抽、分子泵/氦检仪大流量前级应用，分为标准版与耐腐蚀C版本，适配实验室、中试工艺对洁净无油真空的工况需求。

核心技术参数

产品功能特点

全干式无油腔体设计，消除返油污染风险，无需处理废真空泵油，满足洁净真空工艺；大抽速性能，针对大容积腔体可以缩短预抽时间，适配氦质谱检漏仪、大规格涡轮分子泵前级工况。

集成可调气镇阀，具备水汽、部分溶剂蒸汽处理能力；提供标准版本与nXDS20iC耐腐蚀版本，C版密封材质升级，适配含稀酸碱蒸汽工况，拓展工艺适配范围。

集成变频驱动系统，支持转速连续调节，配备低速待机模式，降低持续运行功耗与噪音；具备完备设备自诊断，故障状态提示，便于现场故障排查。

采用新一代端面密封结构，延长密封件更换周期，支持现场用户维护，无需整机返厂，减少停机时间；KF25通用法兰，管路对接便捷。

丰富IO与通讯接口，支持上位机远程控制、转速调节，既可以单机实验室手动操作，也可集成自动化真空工位；宽电压自适应，适配国内及海外不同供电条件。

主要应用领域

大腔体涡轮分子泵、氦质谱检漏仪无油前级泵；Load‑Lock负载锁腔体预抽；半导体小型工艺设备；真空镀膜中试设备；质谱、电镜等大型分析仪器配套；高校科研大容积真空腔体；真空脱泡、冻干、旋转蒸发；锂电、光伏实验室工艺；对无油洁净有要求的密封性检测场景。

配套选购提示

处理腐蚀性介质优先选用nXDS20iC耐腐蚀版本；不可抽取大量粉尘、强腐蚀及易燃易爆气体；进气端建议配置过滤器，阻挡颗粒进入泵体；按照维护周期更换端面密封组件，保障真空性能。