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| 品牌瑞士VAT | 有效期至长期有效 | 最后更新2026-08-12 14:18 |
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瑞士VAT Group04.2矩形门阀 半导体晶圆Loadlock腔室基板传输真空阀
VAT Group（瑞士威特）04.2系列 L‑VAT矩形传输阀（Load‑Lock负载锁门阀）
04.2系列L‑VAT矩形传输阀为瑞士VAT Group面向半导体Loadlock负载锁腔室开发的矩形高真空传输门阀，采用L‑VAT专利L型运动阀板机构，搭配AM350合金焊接波纹管馈通，阀板动作平稳低冲击，颗粒物生成量低，专为晶圆片匣、基板跨腔室传输隔断设计，双作用气动驱动，支持多种定制矩形开口尺寸，广泛应用于半导体Loadlock腔室与工艺腔之间基板传输隔离，是真空负载锁设备主流门阀产品。
核心技术参数
| 产品型号 | 04.2系列 L‑VAT矩形传输阀（Load‑Lock负载锁门阀） |
| 核心机构 | L‑VAT专利L序列运动阀板机构；AM350合金焊接金属波纹管密封馈通，无往复动密封泄露点 |
| 矩形开口规格 | 基础规格46×236mm ~50×336mm，支持客户定制矩形通口尺寸；分为后置开口版本、嵌入式阀座版本四大基础类型 |
| 压力范围 | 1×10⁻⁹mbar ~1.2bar(abs) |
| 氦泄漏率 | 阀体、阀座均＜1×10⁻⁹ mbar·L/s |
| 阀板承受压差 | 关闭最大压差≤1.2bar；开启允许压差≤30mbar |
| 驱动方式 | 双作用气动驱动，标配脉冲电磁阀24VDC，支持电压定制；无手动驱动形式 |
| 阀体材质 | 标准EN AW‑6082硬质阳极氧化铝合金；可选镀镍铝合金适配腐蚀工况；波纹管AISI633(AM350)，轴端构件AISI316L不锈钢 |
| 密封材质 | 标准FKM氟橡胶；可选FFKM全氟橡胶特种密封组件 |
| 温度上限 | 阀体最高120℃；气动驱动器最高80℃；位置指示器最高80℃；阀座与阀板温差需＜40℃ |
| 升降温速率 | ≤40℃/h |
| 维护参考循环寿命 | 洁净工况≥300万次（首次维护前） |
| 法兰形式 | 非标矩形客户定制法兰，支持后置开口、腔体内置/外置阀座嵌入式结构选型 |
| 位置反馈 | 可选电气位置信号输出模块，9针D‑sub连接器输出阀板开/关状态信号 |
| 开关动作时间 | 全开全关动作≤1.0s |
| 安装方位 | 仅支持驱动器朝下安装姿态 |
| 可选配置 | 镀镍防腐阀体、FFKM特种密封、定制电磁阀电压、单向防失压阀、电气位置反馈模块、各类定制矩形开口尺寸 |
| 标准配置 | 矩形传输阀本体、操作说明书、出厂检测证书；电磁阀、位置反馈模块按需选配 |
产品功能特点
L‑VAT专利L序列运动机构，阀板执行抬升‑平移复合动作，密封面之间无滑动摩擦，减少颗粒物产生与二次扬起，适配半导体晶圆基板传输对颗粒管控的工艺要求；波纹管实现真空侧与外部驱动完全隔离，消除往复动密封泄漏风险，放气性能优异。
双作用气动驱动，开关动作速度快、冲击小，保障腔室之间基板传输节拍；阀体分为标准硬质阳极氧化铝合金与镀镍铝合金版本，镀镍版本适配轻微腐蚀性工艺气体；支持四种基础结构，既有独立阀体版本，也提供嵌入式阀座版本，可直接集成到腔室本体，节省设备空间。
可配置电气位置反馈，通过9针D‑sub接口将阀门开关状态接入上位PLC控制系统；维护检修盖板无需拆卸腔体主法兰，现场拆装维护便捷，降低产线停机时长；密封件属于消耗部件，备件获取便捷，支持不同密封材质替换适配不同工艺气体工况。
主要应用领域
多用于半导体设备Loadlock负载锁腔室与工艺腔体之间基板传输隔断；200mm、300mm晶圆工艺设备；PVD、CVD、离子注入设备负载锁门阀；平板显示真空传输腔体；各类需要矩形通道完成基板跨腔室传递的高真空设备场景。
配套选购提示
选型确认矩形开口尺寸、阀体结构形式（后置开口/嵌入式内置阀座/嵌入式外置阀座）；阀门开启前需要将阀门两侧压差降至30mbar以内；严格控制升降温速率≤40℃/h，阀座与阀板工作温差控制小于40℃；腐蚀气体工况优先选用镀镍阀体与FFKM全氟密封；波纹管、密封件结合实际循环频次定期检查；该型号驱动器仅允许朝下安装，不可随意更改安装姿态。
