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德国普发HiPace80Neo分子泵 DN40/DN63 ISO‑KF/CF‑F高真空涡轮泵

品牌 Pfeiffer
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质保 12个月
供货周期 7-60个工作日
更新 2026-08-12 17:21
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德国普发HiPace80Neo分子泵 DN40/DN63 ISO‑KF/CF‑F高真空涡轮泵

Pfeiffer(普发真空)HiPace 80 Neo涡轮分子泵

HiPace 80 Neo为德国Pfeiffer普发真空复合轴承涡轮分子泵,搭载Laser Balancing™专利激光动平衡转子技术,采用永磁‑陶瓷球复合轴承结构,整机体积小巧、重量轻、振动噪声低,集成TC80驱动单元,支持任意姿态安装,适配实验室分析仪器、电镜、小型真空腔体,是实验室场景常用的中小型涡轮分子泵产品。

核心技术参数

产品型号HiPace 80 Neo 涡轮分子泵(配套TC80集成驱动器)
轴承形式复合轴承;真空侧永磁径向轴承,前级侧陶瓷球轴承
转子技术Laser Balancing™激光动平衡工艺
法兰规格DN40 ISO‑KF;DN63 ISO‑K;DN63 CF‑F金属密封
氮气抽速DN40‑KF:35 l/s;DN63:67 l/s
气体抽速 DN63版本Ar:66 l/s;He:58 l/s;H₂:48 l/s
压缩比 DN63版本N₂:1×10¹¹;Ar:1×10¹¹;He:1.3×10⁷;H₂:1.4×10⁵
极限真空ISO‑KF/ISO‑K:1×10⁻⁷ mbar;CF‑F金属密封:5×10⁻¹⁰ mbar
最大前级耐压(N₂)22 mbar
额定转速90000 rpm
启动时间约75 s
供电参数24VDC(±10%);最大功耗110W;最大电流5.6A
冷却方式自然对流;可选强制风冷、水冷
整机重量DN40‑KF:1.7kg;DN63‑ISO‑K:1.7kg;DN63‑CF‑F:3.1kg
通讯接口RS485、远程I/O;支持Micro‑USB;可扩展工业总线
防护等级IP54
噪声水平约48 dB(A)
安装方位任意姿态安装
氦总泄漏率<1×10⁻⁷ mbar·L/s
可选配置耐腐蚀涂层版本、水冷套件、气镇阀组件、不同法兰选型、通讯扩展模块
标准配置分子泵主机、集成TC80驱动单元、操作说明书、出厂检测证书;电源、线缆按需选配

产品功能特点

专利Laser Balancing™激光动平衡转子工艺,转子动平衡精度高,整机振动水平更低,适合对振动敏感的精密设备;激光加工过程产生的颗粒物同步过滤,转子表面洁净度表现优异,降低腔体污染风险。

复合轴承结构结合永磁悬浮+陶瓷球轴承,兼顾运行稳定性与耐用性;转子内置温度监测,可实时监控泵运行热状态;采用高性能抗老化润滑脂,润滑油自带过滤结构,洁净工况可实现长周期免维护运行。

集成TC80驱动电子单元,体积紧凑重量轻,支持任意方向安装,便于小型设备、便携设备内部集成;启动速度快,具备完备运行状态监控,支持RS485与远程IO,可接入上位控制系统读取泵状态、转速、温度等信息。

法兰选择丰富,ISO‑KF、ISO‑K橡胶密封适配常规高真空;CF‑F金属密封版本支持烘烤,可实现超高真空工况;可配置气镇、水冷、防腐涂层,拓展可处理气体工况范围。整机拥有S2、UL/CSA相关认证,适配实验室与工业设备OEM配套。

主要应用领域

多用于扫描电镜SEM、分析型电子显微镜;质谱仪器、残余气体分析仪RGA;科研实验室高真空系统;小型镀膜设备;检漏仪;便携式真空分析设备;半导体小型辅助腔体;各类对振动、洁净度有要求的中小型高真空获取场景。

配套选购提示

选型确认法兰规格,需要超高真空、烘烤工况优先选用CF‑F金属密封版本;需要搭配适配的前级泵,前级压力不可超过22mbar;腐蚀气体工况建议选配防腐涂层与气镇组件;注意泵体散热条件,高温环境可选用强制风冷或水冷;轴承、润滑脂属于消耗部件,结合实际工况定期维护检查。

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