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| 品牌瑞士VAT | 有效期至长期有效 | 最后更新2026-08-12 14:13 |
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VAT20.3真空蝶阀 DN63‑DN200抗颗粒污染双位置机械锁止真空阀门
VAT Group（瑞士威特）20.3系列VATterfly真空蝶阀
20.3系列VATterfly真空蝶阀为瑞士VAT Group专利结构真空隔离蝶阀，区别于传统蝶阀，阀板启闭过程实现无接触运动，减少颗粒物激活，开启、关闭双位置机械锁止，采用旋转馈通结构，整机结构紧凑流导大，双作用气动驱动，兼容ISO‑F、CF‑F法兰，适配高真空到常压工况，适合存在工艺副产物、轻微腐蚀气体的半导体、镀膜真空回路隔离，另有20.4扩展阀体版本可供选型。
核心技术参数
| 产品型号 | 20.3系列 VATterfly真空蝶阀 |
| 核心机构 | VATterfly专利无接触阀板机构，全开全关双位置机械锁止；旋转馈通传动结构 |
| 通径规格 | DN63、DN100、DN160、DN200 |
| 压力范围 | 1×10⁻⁸mbar ~2bar(abs) |
| 氦泄漏率 | 阀体、阀座均＜1×10⁻⁹ mbar·L/s |
| 阀板承受压差 | 关闭方向≤1.6bar；开启方向≤1.2bar；阀门开启允许压差≤500mbar |
| 驱动方式 | 双作用气动驱动，标配板载24VDC电磁阀，支持电压定制；无手动驱动版本 |
| 阀体材质 | 标准硬质阳极氧化铝合金；可选AISI304不锈钢阀体适配腐蚀工况 |
| 密封材质 | 标准FKM氟橡胶，可选PEEK支撑环适配150℃高温工况 |
| 温度上限 | 阀体标准120℃，可选配150℃；驱动器最高120℃；电磁阀最高50℃；位置指示器最高80℃ |
| 维护参考循环寿命 | 洁净工况100000次（首次维护前） |
| 标准法兰 | ISO‑F、CF‑F法兰，支持客户定制法兰接口；20.4为下游扩展阀体版本 |
| 位置反馈 | 可选电气位置信号输出模块，读取阀门开/关状态 |
| 开关响应时间 | 全开全关动作时间约1.4s |
| 安装方位 | 支持任意姿态安装 |
| 可选配置 | 150℃高温套件、特种密封组件、定制电磁阀电压、20.4扩展阀体版本 |
| 标准配置 | 蝶阀本体、操作说明书、出厂检测证书；位置反馈模块按需选配 |
产品功能特点
VATterfly专利阀板机构，阀门启闭过程阀板不与阀体摩擦接触，避免激活工艺副产物堆积产生颗粒物，适配对颗粒管控有要求的真空工艺环境；阀门全开、全关均可实现机械锁止，气源丢失依旧维持当前位置，降低误动作风险，提升系统运行安全性。
旋转馈通结构，真空侧与外部传动机构隔离；整机体积紧凑，相比同通径插板闸阀占用空间更小，流导性能优异；阀体分为铝合金与不锈钢两种材质，铝合金版本重量轻，不锈钢版本适配腐蚀性工艺气体工况。
仅支持双作用气动驱动，可板载集成电磁阀，简化设备布线；可配置电气位置反馈，将阀门状态接入上位PLC控制系统；可升级高温套件，满足150℃工况使用；密封件属于消耗部件，备件套件齐全，维护拆装便捷，降低设备停机时长。
分为标准20.3紧凑型阀体与20.4下游扩展阀体版本，20.4版本阀板旋转区域被下游阀体覆盖，适配沉积较多的工艺场景；兼容ISO‑F、CF‑F主流真空法兰，适配新设备OEM集成，也可用于存量真空设备改造。
主要应用领域
多用于半导体刻蚀、PVD/CVD镀膜设备泵组隔离；Loadlock腔室隔断；光伏、平板显示真空工艺管路；科研真空系统；存在工艺粉尘、副产物沉积的腐蚀性真空回路通断隔离场景。
配套选购提示
选型确认通径、法兰标准，确认选用20.3标准阀体还是20.4扩展阀体；阀门开启前，需要将阀门两侧压差降至500mbar以内；介质温度不可超出设备规格；高温工况选用PEEK支撑环高温套件；腐蚀气体工况优先选用不锈钢阀体与特种密封；密封件结合实际循环频次定期检查更换。
