瑞士VAT Group57.0全金属角阀 DN63‑DN160可烘烤抗辐射超高真空阀门

VAT Group（瑞士威特）57.0系列XHV全金属角阀

57.0系列为瑞士VAT Group面向极端超高真空（XHV）工况开发的全金属角阀，采用VATRING硬对硬金属密封系统，AISI316L焊接波纹管馈通，无橡胶弹性体部件，放气率极低，耐高温烘烤、具备抗辐射能力，支持手动、单作用/双作用气动驱动，标准配置CF‑R可旋转法兰，适配XHV极高真空至常压压差，多用于科研、半导体极端工艺腔体隔离，是全金属超高真空阀门主流产品。

核心技术参数

产品功能特点

整机采用VATRING金属硬对硬密封，真空侧无任何橡胶弹性部件，放气水平优异，可实现XHV极端超高真空隔离；镀银金属密封具备良好的密封稳定性，耐高温烘烤，同时具备抗辐射能力，适配特殊实验工况。

AISI316L焊接波纹管实现传动机构与真空腔体完全隔离，消除往复动密封泄漏点；驱动方案覆盖手动六角驱动、气动单作用弹簧关闭、双作用气动，气动版本可配置板载电磁阀，适配设备安全逻辑与自动化控制需求。

阀体全部采用316L不锈钢材质，兼容CF‑R标准可旋转法兰，方便现场装配对位；可选择抗辐射定制版本，适配辐照相关实验；可配置高温位置指示器，满足高温烘烤工况下的状态采集；整机流导表现优异，适配腔体抽气、通气隔离场景。

模块化结构，可完成现场拆装维护；金属密封阀门对安装、烘烤工艺有规范要求，按照手册操作可保障长期稳定运行，适配科研平台与特种半导体工艺设备OEM集成。

主要应用领域

多用于极端超高真空XHV实验腔体；表面分析设备；电子束、离子束设备；粒子物理科研装置；抗辐射真空系统；半导体特种工艺腔体；离子泵、钛泵前端隔离；所有需要高温烘烤、极低放气的超高真空管路通断隔离场景。

配套选购提示

选型确认通径、法兰标准、驱动形式、气动安全逻辑；阀门开启前将两侧压差控制在1bar以内；烘烤工况严格控制升降温速率≤60℃/h；电磁阀、位置指示器需要避开高温烘烤区域；金属密封、波纹管属于关键部件，结合实际工况循环次数定期检查；抗辐射版本需要单独订货确认参数。