瑞士VAT Group650钟摆阀 ISO‑F/JIS法兰步进电机真空控制隔离摆阀-阀门-产品-北京汉达森工业备件采购平台

品牌瑞士VAT	有效期至长期有效	最后更新2026-08-12 13:54
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VAT Group（瑞士威特）650系列摆阀（钟摆阀）

650系列为瑞士VAT Group钟摆式真空节流控制摆阀，也常被称作钟摆阀，集成步进电机驱动与内置控制单元，钟摆式阀板结构，将真空节流调压与腔体隔离合二为一，阀板动作平缓、颗粒物产出低，流导调节区间宽，适配半导体刻蚀、PVD、CVD等工艺腔体下游闭环压力控制，是晶圆工艺设备主流真空控制阀款。

产品型号	650系列摆阀（钟摆阀）
核心机构	钟摆摆动式阀板结构，旋转馈通，SEALRING密封系统，阀板摆动+脱离阀座复合动作，兼顾节流调节与全关隔离
通径规格	DN100、DN160、DN200、DN250、DN320、DN400
压力范围	1×10⁻⁸mbar ~1.2bar(abs)
氦泄漏率	阀体、阀座均＜1×10⁻⁹ mbar·L/s
阀板承受压差	关闭最大压差1.2bar；开启允许压差≤30mbar
驱动方式	集成步进电机驱动，内置控制器，24VDC供电
阀体材质	硬质阳极氧化铝合金；可选不锈钢阀体版本适配腐蚀工况
密封材质	标准FKM氟橡胶，可选配特种耐腐蚀密封组件
温度上限	阀体最高120℃；驱动控制器推荐工作≤45℃
维护参考循环寿命	节流调节循环800000次；全开全关隔离循环150000次
标准法兰	ISO‑F、JIS法兰，支持客户定制法兰接口
位置反馈	阀板位置实时读取，控制器本地状态显示，支持上位系统信号输出
通讯接口	0‑10V、4‑20mA模拟量；数字IO；RS232；支持DeviceNet、CC‑link工业总线；可外接1‑2路真空压力传感器做闭环控压
安装方位	DN100‑DN320支持任意姿态安装；DN400仅支持水平安装
可选配置	中间抽气口、防沉积涂层、特殊密封、定制总线接口、加热套件
标准配置	650系列摆阀整机、操作说明书、出厂检测证书；真空压力传感器需单独选配

钟摆式阀板运动逻辑，先脱离阀座再执行摆动节流动作，减少密封面摩擦磨损，降低工艺过程颗粒物生成，适配半导体对颗粒敏感的工艺环境；同一阀板既可以做连续流导调节实现腔体压力闭环控制，也可以完全闭合实现真空回路隔离，简化真空管路布局。

内置步进电机与控制单元，接收外部压力设定信号，配合外接真空传感器完成闭环压力调节；调节响应速度快，流导调节范围宽，可实现小流导到大流导的连续精细调节；支持双传感器输入，适配复杂工艺压力监测需求。

硬质阳极氧化铝合金阀体，整机重量适中，具备较好耐工艺副产物沉积能力；可选择不锈钢阀体、防腐涂层、特种密封，适配刻蚀等腐蚀性工艺气体工况；丰富的总线与模拟接口，可对接产线PLC，实现压力设定、阀板位置读取、故障诊断上报。

模块化结构，维护拆装便捷，减少产线停机时长；兼容ISO‑F、JIS主流半导体真空法兰，适配设备OEM集成；支持多种工业通讯协议，适配不同设备控制系统。

多用于半导体刻蚀、磁控溅射PVD、CVD工艺腔体下游压力控制；Loadlock腔体压力调节；也用于平板显示、光伏高端真空设备，广泛用于8寸、12寸晶圆工艺设备，适配高循环、腐蚀性工艺气体的真空控压与隔离场景。

选型确认通径、法兰标准；阀门开启前需要将阀门两侧压差降至30mbar以内；闭环压力控制需要单独选配适配的真空压力传感器；控制器避免高温环境；腐蚀气体工况优先选择防腐涂层、不锈钢阀体与特种密封；密封件属于消耗部件，结合实际循环频次定期检查维护；DN400通径仅支持水平安装。