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| 品牌瑞士VAT | 有效期至长期有效 | 最后更新2026-08-12 13:50 |
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瑞士VAT Group64.2控压插板阀 半导体刻蚀溅射腔体高真空节流调节阀
VAT Group（瑞士威特）64.2系列节流控制插板阀
64.2系列为瑞士VAT Group一体化高真空节流控制插板阀，集成步进电机与内置压力控制器，搭载VATLOCK滚珠锁紧机构，阀板兼具节流调节与真空隔离双重功能，阀板关闭位置机械锁止，断电可实现故障保护关闭，低颗粒产出，适配半导体刻蚀、溅射等高循环工艺腔体闭环压力调节，是半导体工艺控压主流阀款。
核心技术参数
| 产品型号 | 64.2系列 节流控制插板阀 |
| 核心机构 | VATLOCK滚珠锁紧机构，阀板悬浮式运动，旋转馈通结构；阀板同时作为节流调节元件 |
| 通径规格 | DN100、DN160、DN200、DN250、DN320、DN350、DN400 |
| 压力范围 | DN100‑200：1×10⁻⁸mbar ~2bar(abs)；DN250‑400：1×10⁻⁸mbar ~1.2bar(abs) |
| 氦泄漏率 | 阀体、阀座均＜1×10⁻⁹ mbar·L/s |
| 阀板承受压差（关闭） | DN100‑200≤2bar；DN250‑400≤1.2bar；开启允许压差≤30mbar |
| 驱动方式 | 集成步进电机驱动，内置压力控制单元，24VDC供电 |
| 阀体材质 | AISI304不锈钢阀体、阀板，内部构件多种不锈钢牌号 |
| 密封材质 | 标准FKM氟橡胶，可选配特种密封材质 |
| 温度上限 | 阀体最高150℃；控制器最高50℃，推荐工作≤35℃ |
| 维护参考循环寿命 | 压力节流控制循环：1000000次；全开全关循环：200000次 |
| 标准法兰 | ISO‑F、CF‑F、ASA‑LP、JIS法兰，支持客户定制法兰接口 |
| 位置反馈 | 机械可视指示；控制器自带阀板位置显示，支持信号输出接入上位系统 |
| 通讯接口 | RS232；0‑10V模拟输入输出；数字IO，可外接真空压力传感器做闭环控压 |
| 安装方位 | DN100‑DN350任意姿态安装；DN400仅限水平安装 |
| 可选配置 | 中间抽气端口、特殊密封组件、定制法兰、驱动器旋转安装套件 |
| 标准配置 | 节流插板阀整机、操作说明书、出厂检测证书；压力传感器需单独选配 |
产品功能特点
VATLOCK滚珠锁紧结构，阀板关闭实现机械锁止，断电状态下可完成故障保护关闭，保障腔体隔离密封；阀板悬浮运动，节流调节过程无轨道摩擦，颗粒物生成量低，适配半导体洁净工艺环境。
阀板既是隔离闸板，也是节流调节元件，通过步进电机精准控制阀板开度改变流导；内置控制器接收外部压力传感器信号，自动运算阀板目标位置，实现腔体真空压力闭环稳定调节，响应速度快，压力控制重复性好。
不锈钢阀体，耐受半导体多种工艺气体；模块化结构，维护时无需拆解设备主法兰，可对驱动与阀板组件进行拆装维护，降低产线停机时长；丰富法兰规格，兼容主流真空设备接口，便于OEM设备集成。
支持外接真空传感器，可接入产线PLC系统，实现压力设定、阀板位置读取、故障状态上报；兼顾节流调压与完全隔离两大功能，单台阀门可完成压力调节与回路隔断，简化真空管路布局。
主要应用领域
多用于半导体刻蚀、磁控溅射PVD、CVD工艺腔体闭环压力控制；Loadlock腔室压力调节；也用于平板显示、光伏、科研高端真空设备，适配高循环频次、对压力稳定性有较高要求的真空工艺场景。
配套选购提示
选型确认通径、法兰标准；阀门开启前需要将两侧压差降至30mbar以内；闭环压力控制需要单独选配适配的真空压力传感器；控制器工作环境温度不宜过高；密封件属于消耗部件，结合实际循环频次定期检查；DN400通径仅支持水平安装。
