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| 品牌瑞士VAT | 有效期至长期有效 | 最后更新2026-08-12 13:47 |
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瑞士VAT Group26.4角阀 半导体小腔体手动气动电磁驱动真空隔离阀
VAT Group（瑞士威特）26.4系列高真空角阀
26.4系列为瑞士VAT Group波纹管密封式高真空角阀，采用金属波纹管隔离馈通结构，无摩擦传动，放气率低、颗粒生成少，支持手动、气动、电磁、步进电机多种驱动形式，适配ISO‑KF、ISO‑K法兰，覆盖高真空至常压压差工况，多用于半导体小腔体、真空设备抽气、通气隔离，是中小型真空腔体的常用配置阀款。
核心技术参数
| 产品型号 | 26.4系列 高真空角阀 |
| 传动结构 | AISI316L金属波纹管密封馈通，无动密封泄露点，低颗粒输出 |
| 通径规格 | DN10、DN16、DN25、DN40、DN50、DN63、DN80、DN100、DN160 |
| 压力范围 | DN10‑50：1×10⁻⁸mbar ~5bar(abs)；DN63‑80：1×10⁻⁸mbar ~4bar(abs)；DN100‑160：1×10⁻⁸mbar ~2bar(abs) |
| 氦泄漏率 | 阀体、阀座均＜1×10⁻⁹ mbar·L/s |
| 阀板耐受压差 | 关闭方向DN10‑50≤5bar；DN63‑80≤4bar；DN100‑160≤2bar；开启允许压差≤1‑2bar，按通径区分 |
| 驱动方式 | 手动（可拆卸手轮）；气动单作用NC/NO、双作用；电磁驱动；步进电机电动驱动 |
| 阀体材质 | 铝合金；可选AISI304/AISI316L不锈钢阀体版本 |
| 密封材质 | 标准FKM氟橡胶，可选配其他特种密封材质 |
| 温度上限 | 阀体最高150℃；气动驱动器最高120℃；电磁/电动驱动器最高50℃；电磁阀最高80℃/50℃（按通径） |
| 维护参考循环寿命 | 气动DN10‑80：300万次；DN100‑160：100万次；电磁驱动20万次；电动200万次；手动1万次 |
| 标准法兰 | ISO‑KF、ISO‑K法兰，支持客户定制法兰接口 |
| 位置反馈 | 机械可视指示；可选电气位置信号输出；电磁阀可板载集成或外置安装 |
| 安装方位 | 支持任意姿态安装 |
| 可选配置 | 高温位置指示器、特殊密封组件、定制电磁阀电压、共用信号连接器、定制法兰接口 |
| 标准配置 | 角阀本体、操作说明书、出厂检测证书；电磁阀、位置反馈模块按需选配 |
产品功能特点
金属波纹管全隔离馈通设计，传动机构与真空腔体完全隔离，不存在往复动密封，有效降低介质泄漏风险；波纹管结构无摩擦副，运行过程颗粒物产出低，放气性能优异，适配对洁净度有要求的工艺腔体。
驱动方案选择丰富，手动款配置可拆卸手轮，带机械止位，避免过度旋拧损伤密封；气动版本支持常闭NC、常开NO、双作用，适配气源丢失安全逻辑；电磁、步进电机驱动适配小型自动化设备；气动可选择板载电磁阀，简化设备布线。
阀体分为铝合金与不锈钢版本，铝合金版本重量轻，适合通用真空；不锈钢版本适配腐蚀气体、高温工况；可配置高温位置反馈组件，满足高温腔体使用；波纹管为成熟结构件，整机流导表现良好，角式结构节省腔体周边安装空间，便于OEM集成到小型真空设备内部。
支持任意方位安装，可承受较高关闭压差；可搭配电气位置反馈，将阀门开关状态接入设备控制系统；密封件属于消耗部件，便于后期维护更换，适配批量设备配套使用。
主要应用领域
多用于半导体小型工艺腔体、PVD/CVD设备抽气与通气；科研真空系统；镀膜设备；分子泵前端隔离；锂电池、平板显示、光伏行业真空回路；各类中小型真空腔体的抽气、放气、管路通断隔离场景。
配套选购提示
选型需要确认通径、法兰标准、驱动形式、安全逻辑（常闭/常开）；开启前尽量控制阀门两侧压差在允许范围以内；介质温度不可超出设备规格；腐蚀气体工况优先选用不锈钢阀体与适配密封；高温工况可选用高温位置指示器；波纹管、密封件建议结合实际循环次数定期检查维护。
