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| 品牌瑞士VAT | 有效期至长期有效 | 最后更新2026-08-12 13:42 |
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VAT 12.1系列真空插板闸阀 瑞士VATLOCK机械锁止铝合金真空隔离阀
VAT Group（瑞士威特）12.1系列真空插板闸阀
VAT 12.1系列真空插板闸阀为瑞士VAT Group成熟铝合金真空隔离闸阀，搭载VATLOCK专利锁紧机构，阀板悬浮式动作，摩擦少、颗粒生成量低，提供手动、双作用气动两种驱动形式，支持ISO‑F、JIS标准法兰，适配高真空至常压工况，广泛用于真空泵隔断、Loadlock腔室、镀膜、半导体设备等真空回路隔离场景，小口径规格提供嵌入式紧凑版本，便于设备内部集成。
核心技术参数
| 产品型号 | 12.1系列 真空插板闸阀 |
| 核心机构 | VATLOCK滚珠锁紧机构，关闭位置机械锁止，阀板悬浮无轨道摩擦 |
| 通径规格 | DN63、DN80、DN100、DN160、DN200、DN250、DN320 |
| 压力范围 | DN63‑200：1×10⁻⁷mbar ~1.6bar(abs)；DN250‑320：1×10⁻⁷mbar ~1.2bar(abs) |
| 氦泄漏率 | 阀体、阀座均＜1×10⁻⁹ mbar·L/s |
| 阀板承受压差 | DN63‑200≤1.6bar；DN250‑320≤1.2bar；开启允许压差≤30mbar |
| 驱动方式 | 双作用气动、手动推杆式；气动标配电磁阀24VDC，支持其他电压定制 |
| 阀体材质 | 铝合金；内部构件AISI304不锈钢/铝合金 |
| 密封材质 | 标准FKM氟橡胶，可选配其它密封材质 |
| 温度上限 | 阀体最高120℃；驱动器最高80℃；电磁阀最高50℃ |
| 维护参考循环寿命 | DN63‑100：200000次；DN160‑320：100000次 |
| 标准法兰 | ISO‑F、JIS法兰，支持客户定制法兰；小口径可选嵌入式无法兰版本 |
| 位置反馈 | 机械可视指示；可选电气位置信号输出 |
| 安装方位 | 任意安装姿态 |
| 可选配置 | 附加抽气端口、加热保温套、特殊密封、定制电磁阀规格 |
| 标准配置 | 闸阀本体、操作说明书、出厂检测证书；电磁阀、位置反馈按需选配 |
产品功能特点
VATLOCK专利滚珠锁紧结构，阀门关闭后实现机械锁死，即便气动气源丢失，依旧维持密封隔离状态，降低真空泄漏风险；阀板悬浮运动结构，运行过程无轨道摩擦，减少颗粒物产生，适配对洁净度有要求的真空工艺工况。
分体式模块化阀体结构，维护时无需拆卸设备法兰，松开固定螺丝即可抽出驱动单元与阀板组件，拆装简单，后期维护工作量小；驱动器、阀体、阀板组件可互换，选型改配灵活。小通径规格提供嵌入式版本，减少设备内部占用空间，适配OEM设备集成需求。
支持手动、气动双驱动形式，气动版本可配置电磁阀与电气位置反馈，可接入设备控制系统读取阀门状态；兼容ISO‑F、JIS主流真空法兰，也可定制特殊法兰接口；可配置加热保温组件，适配水汽、易凝气体工况。
铝合金阀体，整机重量适中，综合使用成本可控；可承受全压差隔离，导通流导大，满足分子泵、低温泵前端隔断、腔室隔离等绝大多数通用真空回路需求。
主要应用领域
多用于半导体设备泵组隔离、Loadlock腔室隔断；真空镀膜、离子注入；科研真空系统；工业真空设备；分子泵、低温泵前端隔离；锂电池、光伏、平板显示相关真空工艺管路通断隔离。
配套选购提示
选型需确认通径、法兰标准、驱动形式；开启前需要将阀门两侧压差降至30mbar以内；介质温度不可超出设备规格；有凝气、水汽工况建议选配加热保温套件；密封件属于消耗部件，建议结合实际循环次数定期检查更换；嵌入式版本仅DN63‑DN100可选用。
