Bronkhorst气体流量控制器EL-FLOW Select系列用于清洁和干燥气体

 

用于清洁和干燥气体的实验室式质量流量仪器。可选的有用于半导体市场和其他高纯气体的金属密封仪器

准确性：提供高精度的旁路传感器，优异的温度稳定性，以及快速响应。

Bronkhorst 气体流量控制器 EL-FLOW Select 是一款高性能的气体流量控制设备。基于热传导原理，通过测量气体对加热元件和温度传感器之间热量传递的影响来确定气体的质量流量。当气体流过传感器时，带走加热元件的热量，导致温度传感器检测到温度变化，根据这种变化与气体流量的关系计算出气体的质量流量。内置的微处理器将测量得到的实际流量值与设定值进行比较，根据偏差信号控制精密的控制阀，调节气体流量，使实际流量不断趋近于设定值，实现精确的流量控制。

 

产品特点

高精度测量与控制：采用先进的热式质量流量传感器和精密控制阀，能够实现高精度的气体流量测量和控制，精度可达 ±0.5% rd plus ±0.1% fs，重复精度优于 ±0.2% rd。

快速响应：EL-FLOW Select 系列的响应速度非常快，一般在 2-4 秒内即可完成从一个流量值到另一个流量值的稳定调节，能够满足快速变化的流量控制需求。

宽流量范围：涵盖了从 0.014 mln/min 到 1670 ln/min 的广泛流量范围，可满足不同应用场景对气体流量的需求。

多气体兼容性：可以存储最多 8 条校准曲线，实现对多种不同气体的精确测量和控制，用户可根据实际使用的气体种类选择相应的校准曲线。

压力和温度独立性：具有出色的压力和温度稳定性，压力敏感性小于 0.1% rd/bar（典型 N₂），温度敏感性小于 0.05% fs/°C（零点）和 0.05% rd/°C（量程），在不同的压力和温度条件下仍能保持高精度的流量控制。

多种通信接口：除了标准的 RS232 通信接口外，还可选配 CANopen、DeviceNet、EtherCAT、Profibus DP、Profinet、Modbus RTU、ASCII over TCP/IP、Ethernet/IP、Powerlink 或 Flow-bus 等通信接口，方便与各种自动化控制系统集成。

技术参数

工作温度范围：-10℃至 + 70℃。

压力等级：可达 100 bar abs，部分型号如 F-201CV 为 64 bar abs。

过程连接：可选择压缩式或面密封（VCR/VCO）接头。

电源供应：+15…24 VDC，不同接口下的最大功耗有所不同。

 

应用领域

半导体行业：用于半导体制造过程中的气体流量控制，如化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、刻蚀等工艺，确保精确的气体配比和流量控制，提高半导体器件的质量和一致性。

化学工业：在化学反应过程中，精确控制各种反应气体的流量，有助于优化反应条件，提高反应效率和产品质量，同时确保生产过程的安全性。

制药行业：在制药过程中的气体灭菌、药品包装等环节，需要精确控制气体流量，以保证药品的质量和安全性。

科研领域：在高校、科研机构的实验室中，用于各种气体相关的实验研究，如材料科学、化学工程、生物医学等领域的实验，为科研人员提供精确的气体流量控制。

 

常见型号

F-100D

F-101D

F-101E

F-102D

F-102E

F-103D

F-103E

F-110C

F-111AC型

F-111B型