L-306 紧凑型精密Z向位移台 德国PI (Physik Instrumente)

L-306 紧凑型精密Z向位移台

紧凑型设计，多轴组合

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紧凑型设计：表面63毫米×63毫米

可选配线性编码器用于直接位置测量

非接触式参考和限位开关

步进电机和闭环直流电机

交叉滚柱导轨

紧凑型Z向位移台，用途广泛

带皮带驱动的折叠驱动，Z向位移台结构紧凑。可安装在带M6 50 毫米 × 50 毫米连接间距的线性平台上（如L-406）。

位置测量

·         增量线性编码器（可选配步进电机）

·         非接触式光学参考和限位开关

交叉滚柱导轨

对于交叉滚柱导轨，滚珠导轨中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此，它们的刚度明显提高，需要的预载更小，这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱导轨还具有高导向精度和高负载能力的特征。力导向滚动体保持架防止保持架蠕变。

驱动器

·         两相步进电机或闭环直流电机

·         空回补偿型滚珠丝杠

增量编码器用于高精度位置测量

非接触式光学编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响。

应用领域

研究, 半导体技术, 光子, 自动化

订购信息

L-306.011100 紧凑型精密Z向位移台，13毫米行程，20牛负载容量，步进电机，含3米成套电缆

L-306.011112 紧凑型精密Z向位移台，13毫米行程，20牛负载容量，步进电机，带A/B正交信号传输的线性编码器，5纳米传感器分 辨率，含3米成套电缆

L-306.013112 紧凑型精密Z向位移台，13毫米行程，20牛负载容量，直流电机，带A/B正交信号传输的线性编码器，50纳米传感器分 辨率，含3米成套电缆

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L-306 紧凑型精密Z向位移台  德国PI (Physik Instrumente)