德国Phytron VSS42.200.1,2真空步进电机 10⁻¹¹hPa 半导体镀膜设备用

Phytron VSS 42.200.1,2 是一款真空步进电机，由德国 Phytron GmbH 原厂研发制造。Phytron 的 VSS 系列步进电机拥有超过 30 年的空间应用经验，专为真空、低温、高温和强辐射腔体环境设计。

VSS 42.200.1,2 属于 VSS 微型真空步进电机系列，法兰尺寸 42mm（NEMA 17）。电机类型为两相混合式步进电机，步距角 1.8°（200步/转）。保持扭矩 120 mNm，额定相电流 1.2A。极限真空度可达 10⁻¹¹ hPa，适配超高真空环境。该系列采用低放气航天级材料（TML＜1%，CVCM＜0.1%），全不锈钢壳体，干式固体润滑，内置排气孔消除内部积气。

核心参数表

功能特点

1. 超高真空兼容，极限真空10⁻¹¹hPa

VSS 42.200.1,2 的极限真空度可达 10⁻¹¹ hPa，适配超高真空环境。在半导体晶圆设备、粒子加速器、超高真空光学镜台等场景中，这一真空兼容能力保障了电机在真空腔体内的长期稳定运行。

2. 低放气航天级材料，保障真空洁净度

电机采用低出气、低挥发原材料，总质量损失 TML＜1%，可凝挥发物 CVCM＜0.1%。组件经过预处理并在真空中至少 200°C 除气。在真空镀膜、光学检测等对洁净度有严格要求的应用中，这一特性有助于维持腔体真空度和内部洁净度。

3. 宽温域版本可选，适配极端温度工况

VSS 系列提供四种真空等级版本：

• FV（粗真空） ：10⁻³ hPa，-20°C至+150°C

• HV（高真空） ：10⁻⁷ hPa，-20°C至+200°C

• UHV（超高真空） ：10⁻¹¹ hPa，-20°C至+300°C

• UHVC（超低温UHV） ：10⁻¹¹ hPa，-270°C至+40°C

用户可根据具体工况选择适配的真空等级和温度范围。

4. 内置排气孔与干式固体润滑

电机内置排气孔，可消除内部积气。轴承采用干式固体润滑，避免润滑油挥发污染真空腔体。全不锈钢壳体结构坚固，适配真空腔体内部装配。

5. 高定位精度与微步进驱动

电机支持 1/512 微步驱动，搭配编码器可实现重复定位 ±1μm 以内的精度。在真空腔体精密位移驱动与微调作业中，这一精度水平适配半导体和光学设备的定位需求。

适用场景

VSS 42.200.1,2 在高端真空应用领域广泛使用：

• 半导体晶圆设备：用于真空制程工位位移调节和精密加工

• 真空镀膜设备：用于电子束蒸镀、磁控溅射的靶材微调和基片定位

• 光学真空平台：用于真空光学实验平台的精密调整

• 质谱仪与真空微调镜座：用于分析仪器的真空精密调节

• 冷冻电镜：UHVC版本用于低温样品台的精密位移控制

配套耗材

订货说明

VSS 42.200.1,2 采用 Phytron 标准型号编码体系：

• VSS = 微型真空步进电机系列

• 42 = 法兰尺寸（42mm / NEMA 17）

• .200 = 步数/转（200步）

• .1,2 = 相电流规格（1.2A）

订货时建议确认以下信息：

• 型号：VSS 42.200.1,2

• 真空等级：FV / HV / UHV / UHVC

• 是否需要减速箱（VGPL）

• 是否需要真空编码器

• 是否需要温度传感器

• 特殊应用要求（如特定辐射等级、特定温度等）