德国Levitronix磁悬浮泵系统BPS‑200

一、公司介绍

Levitronix，全球主动磁悬浮无轴承电机标杆厂商，创立于 2001 年，专注超洁净、低剪切流体输送设备，累计出货超十万台；产品线包含磁悬浮泵、混合器、鼓风机、流量传感器、粘度计，主攻半导体微电子、生物制药、精细化工三大赛道，是晶圆湿法工艺、CMP 浆料输送、细胞生物流体输送主流选用品牌Levitronix。依靠专利一体化磁悬浮电机，叶轮全程无机械接触，解决传统泵轴承磨损、密封泄漏、颗粒污染痛点。

 二、常用产品型号

- BPS 系列（半导体超纯泵）

  - BPS‑200：小流量，最大流量 21 L/min，压差 2.6 bar，PFA/PTFE，单片晶圆清洗、光刻药液输送

  - BPS‑600：最大流量 75 L/min，压差 3.2 bar，CMP 浆料、高纯化学品循环，产线用量最大

  - BPS‑4000：超大流量，最高 280 L/min，压差可达 6.3 bar，大槽体循环；含防爆 ATEX 版本

  - BPS‑i 系列：新一代 OEM 紧凑型版本，BPS‑i30、BPS‑i600

- DuraLev® 系列（化工工艺泵）

  - DuraLev 2000：最大流量 140 L/min，压差 4.1 bar，湿端可选 PFA / PVDF / PP，强腐蚀精细化工流体输送，MTBF 极高

- PuraLev® 系列（生物制药低剪切泵）

  - PuraLev 200MU / 2000MU：一次性 / 可复用低剪切泵，细胞灌注、TFF 切向流超滤、疫苗与生物制剂输送，保护活细胞、蛋白不被剪切破坏

- PTM 磁悬浮泵混一体机：泵送 + 搅拌一体，药液储罐循环混合

- 配套控制器：LPC‑600、LPC‑4000、LC‑325、LC‑48

三、产品特点

- ✅ 主动磁悬浮无轴承、无动密封：叶轮悬浮运转，无接触、无磨损，几乎不产生颗粒污染；对比隔膜泵，大颗粒生成量低数百倍，适合晶圆等高洁净场景

- ✅ 极低金属析出：湿端采用高纯度 PFA、PTFE、Kalrez，耐强酸强碱、高纯溶剂

- ✅ 低剪切、柔和输送：宽间隙流道，不会损伤细胞、蛋白、敏感浆料

- ✅ 流量压力高精度电控调节，无脉动；支持 PLC、USB、模拟信号通讯

- ✅ 超长寿命，无易损轴承 / 密封件，维护量极低；提供防爆 ATEX、防静电、高温定制版本，最高液温 90℃

- ✅ 整套系统：泵头 + 驱动电机 + 专用控制器，成套供货

四、应用行业

- 半导体微电子：单片清洗、蚀刻、电镀、CMP 浆料输送、超纯水、高纯湿化学品循环

- 生物制药：细胞培养灌注、基因药物、疫苗、蛋白药液、一次性生物工艺

- 精细化工：腐蚀性高纯药剂、敏感流体循环输送

- 其他：实验室、医疗流体、特种洁净循环工艺