GXS250干式螺杆真空泵 ISO63锂电半导体热处理工业真空干泵

Edwards爱德华 GXS250 干式螺杆真空泵（工业产线干泵）

GXS250属于爱德华GXS系列无油干式螺杆真空泵，泵腔内部无工作油液，依靠螺杆转子容积变化完成气体输送，具备吹扫防护能力，耐受可凝蒸汽、少量粉尘工况，板载智能控制系统，适配半导体、锂电、化工、热处理等连续化工业产线，作为主抽干泵或罗茨机组前级泵广泛使用。

核心技术参数

产品功能特点

完全干式无油腔体设计，工艺气体不会被真空泵油污染，无废油处置负担，满足工业洁净工艺要求；专利螺杆转子结构，热管理系统优化，适配长时间不间断连续生产运行。

多重吹扫防护设计，包含轴封吹扫、入口吹扫、气镇功能，能够处理水汽、部分溶剂蒸汽，对少量粉尘工况具备耐受性，拓展工业复杂工艺适配范围。

板载集成智能控制系统，本地面板实现启停、参数设置；内置PID压力控制功能，可根据真空计信号自动调节泵运行状态；具备完整设备自诊断，故障代码提示，方便产线维护排查。

支持与罗茨泵组合构成真空机组，进一步提升抽速与真空区间；整机水冷散热，运行振动与噪音控制良好；延长维护周期，减少产线停机频次，降低整体使用成本。

丰富的IO通讯接口，可接入工厂PLC控制系统，适配自动化产线联动逻辑；提供碳钢、不锈钢泵腔可选版本，适配不同介质工况。

主要应用领域

锂电池生产：电极干燥、注液、化成工序抽真空；半导体工艺设备前级抽气；真空热处理、钎焊、烧结；化工溶剂蒸馏、脱溶；光伏生产工艺；镀膜工业产线；科研中试大型真空腔体；各类需要无油真空的连续工业化生产场景。

配套选购提示

抽取粉尘介质建议配置入口过滤器；腐蚀性介质优先选用不锈钢泵腔版本；工艺介质含大量溶剂可增配溶剂冲洗套件；设备需要水冷供水，现场需保障冷却水条件；不可抽取大量强腐蚀、易燃易爆无处理气体；按照手册周期执行保养维护。