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| 品牌Pfeiffer | 有效期至长期有效 | 最后更新2026-08-12 17:42 |
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Pfeiffer ASM 310氦质谱检漏仪 普发便携式无油半导体真空检漏设备
Pfeiffer（普发真空）ASM 310氦质谱检漏仪（半导体检漏主力机型）
ASM 310为德国Pfeiffer普发真空便携式无油氦质谱检漏仪，整机集成干式前级泵，无需外接油泵，兼顾真空喷吹检漏与吸枪嗅探检漏两种工作模式，灵敏度高、整机轻量化，支持可拆卸触控面板，适配半导体腔体、真空设备、零部件密封性检测，是半导体、科研、工业维保场景主流检漏设备。
核心技术参数
| 产品型号 | ASM 310 氦质谱检漏仪 |
| 检测模式 | 真空喷吹模式、吸枪嗅探模式 |
| 可检测示踪气体 | ⁴He、³He、H₂ |
| 真空模式最小可检漏率 | 1×10⁻¹³ Pa·m³/s（1×10⁻¹² mbar·l/s） |
| 吸枪模式最小可检漏率 | 1×10⁻⁸ Pa·m³/s（1×10⁻⁷ mbar·l/s） |
| 氦气抽速（进气口） | 1.1 l/s |
| 内置干式前级泵抽速 | 1.7 m³/h |
| 进气法兰 | DN25 ISO‑KF |
| 最大允许进气压力 | 15 mbar |
| 预热启动时间（20℃） | ＜2min；带自动校准＜3.5min |
| 信号响应时间 | ＜1 s |
| 整机重量 | 21 kg |
| 外形尺寸(长×宽×高) | 350 × 254 × 414 mm |
| 供电规格 | 90‑240V AC 50/60Hz；最大功率300W |
| 噪声等级 | ＜45 dB(A) |
| 操作显示 | 彩色触摸屏，支持10种语言，面板可拆卸分离使用 |
| 通讯接口 | USB、RS232、数字IO、模拟量输出，支持数据存储导出 |
| 安装使用姿态 | 支持水平、垂直多姿态使用，配置伸缩手提把手 |
| 可选配置 | 不同长度吸枪探头、氦气喷枪、移动推车、便携运输箱、远程控制组件、SD存储模块 |
| 标准配置 | 检漏仪主机、操作说明书、出厂检测证书；吸枪、喷枪、电源线等配件按需选配 |
产品功能特点
整机内置干式无油泵组，规避油污染风险，满足半导体洁净工艺检测要求；一台设备支持真空喷吹、吸枪嗅探两种主流检漏方式，既可以检测封闭真空腔体，也可对承压工件外部逐点扫描找漏，适配多样化检测需求。
机身轻量化设计，配备伸缩手提把手，可拆卸磁吸式触控面板，可远距离操作查看检测数据；通用宽电压电源，可适配不同国家供电环境，设备可多姿态摆放，方便现场设备维保与移动检测作业。
检测响应速度快，漏率读数稳定；支持数据存储、导出，方便测试记录归档；具备完备的设备状态自诊断；人机交互界面友好，多语言切换，便于不同操作人员使用；整机维护周期长，备件体系完善，降低后期运维压力。
丰富外接接口，模拟量、数字IO、串口可对接上位控制系统，可集成到自动化检漏工位，适配实验室手动检测与工业自动化产线两种使用场景。
主要应用领域
多用于半导体工艺腔体、Loadlock腔体、真空阀门检漏；真空镀膜、光伏设备密封性测试；质谱、电镜等分析仪器设备检漏；科研超高真空系统；零部件、杜瓦容器、管路焊缝密封性检测；现场设备维保检漏、第三方检测服务场景。
配套选购提示
选型确认是否需要吸枪探头、喷枪配件；工件压力不可超过最大允许进气压力；半导体洁净工况优先保持无油配置；根据现场工况选择对应长度吸枪软管；定期执行设备校准维护，保障漏率检测精度。
