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| 品牌瑞士VAT | 有效期至长期有效 | 最后更新2026-08-12 14:05 |
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瑞士VAT Group10.8超高真空阀 CF‑F/ISO‑F法兰可烘烤不锈钢真空闸阀
VAT Group（瑞士威特）10.8系列超高真空UHV闸阀
10.8系列为瑞士VAT Group成熟超高真空插板闸阀，采用焊接金属波纹管馈通搭配VATLOCK滚珠锁紧机构，无润滑剂，支持高温烘烤，阀体整体不锈钢材质，氦泄漏指标优异，适配1×10⁻¹⁰mbar超高真空工况，提供手动、双作用气动驱动，兼容CF‑F、ISO‑F、ASA‑LP、JIS多种法兰，广泛用于半导体UHV腔体、电子束设备、科研超高真空系统的腔体隔离，是弹性密封类超高真空闸阀主流产品。
核心技术参数
| 产品型号 | 10.8系列 超高真空UHV闸阀 |
| 核心机构 | VATLOCK滚珠锁紧机构；AISI316L焊接金属波纹管馈通，阀帽金属密封，无动密封泄露点 |
| 通径规格 | DN63、DN80、DN100、DN160、DN200、DN250、DN320 |
| 压力范围 | DN63‑200：1×10⁻¹⁰mbar ~1.6bar(abs)；DN250‑320：1×10⁻¹⁰mbar ~1.2bar(abs) |
| 氦泄漏率 | 阀体＜5×10⁻¹⁰ mbar·L/s；阀座＜1×10⁻⁹ mbar·L/s |
| 阀板承受压差 | 关闭DN63‑200≤1.6bar；DN250‑320≤1.2bar；开启允许压差≤30mbar |
| 驱动方式 | 手摇曲柄手动驱动；双作用三位气动驱动；气动标配电磁阀24VDC，支持电压定制 |
| 阀体材质 | AISI304不锈钢；内部构件AISI316L；波纹管AISI316L不锈钢 |
| 密封材质 | 阀帽金属密封；阀板标准FKM氟橡胶，DN200及以下可选硫化密封、O型圈密封 |
| 烘烤温度 | 阀体开启最高250℃；阀体关闭最高200℃；气动驱动器最高200℃；电磁阀最高50℃；升降温速率≤50℃/h |
| 维护参考循环寿命 | 洁净工况下50000次（首次维护前） |
| 标准法兰 | CF‑F、ISO‑F、ASA‑LP、JIS法兰，支持客户定制法兰接口 |
| 位置反馈 | 标配机械可视指示；可选双电气位置信号输出模块 |
| 安装方位 | 支持任意姿态安装 |
| 可选配置 | 附加抽气端口、阀板观察窗口、定制法兰、特殊密封组件、特殊规格电磁阀、紧凑型版本 |
| 标准配置 | 闸阀本体、操作说明书、出厂检测证书；电磁阀、位置反馈模块按需选配 |
产品功能特点
VATLOCK滚珠锁紧机构，阀门关闭实现机械锁止，具备故障防护能力；焊接金属波纹管实现真空侧与传动侧完全隔离，无往复动密封，放气率低，可高温烘烤，阀帽采用金属密封，进一步降低整机泄漏风险。
整机无润滑脂设计，适配超高真空工艺环境，减少有机物析出污染腔体；驱动包含手摇曲柄手动、双作用气动两种方案，气动版本可配置电磁阀与电气位置反馈，接入上位控制系统读取阀门状态。DN200及以下规格支持硫化密封，相比普通O型圈，真空性能与密封可靠性更佳。
全不锈钢阀体，兼容CF‑F、ISO‑F等主流超高真空法兰，适配科研设备与半导体设备OEM集成；模块化结构，便于现场拆装维护，降低设备停机时间。
主要应用领域
多用于半导体超高真空工艺腔体隔断；电子束、离子束设备；分子泵、离子泵前端隔离；科研UHV实验平台；薄膜沉积、表面分析设备；各类需要高温烘烤、超高真空隔离的真空系统。
配套选购提示
选型确认通径、法兰标准、驱动形式；阀门开启前需要将阀门两侧压差降至30mbar以内；烘烤工况严格控制升降温速率≤50℃/h；追求密封性能DN200及以下优先选用硫化密封版本；波纹管、密封件属于消耗部件，结合实际工况与循环次数定期检查维护。
