Bronkhorst布琅轲锶特 EL‑FLOW Prestige FG‑201CV 新一代高端热式气体质量流量控制器MFC 内置百余种气体数据库 宽量程比

Bronkhorst布琅轲锶特 EL‑FLOW Prestige FG‑201CV 新一代高端热式气体质量流量控制器MFC 内置百余种气体数据库 宽量程比

Bronkhorst（布琅轲锶特，荷兰）EL‑FLOW Prestige FG‑201CV为新一代高端热式质量流量控制器（MFC），搭载多气体多量程MG/MR技术，内置100余种气体数据库，数字模式可达1:150超宽量程比，控制响应迅速，支持橡胶密封与金属密封版本选型，适配半导体、PVD/CVD镀膜、特种气体、高端科研工艺的高精度气体流量测控场景。

产品概述

FG‑201CV采用热式质量流量传感原理，集成优化设计比例控制阀与高性能数字处理电路板，具备多气体多量程功能，设备内部预存100余种工艺气体参数，支持最多5种气体混合组态，无需重新标定即可切换气体种类。设备提供标准橡胶密封，可选择金属密封版本，满足超高洁净、腐蚀性特种气体工况；支持快速、标准、慢速三档控制速度，快速模式调节稳定时间小于500ms。通讯配置丰富，标配RS232，可选EtherCAT、PROFIBUS‑DP、PROFINET、Modbus、DeviceNet等工业总线，同时兼容0‑10V、4‑20mA模拟信号输出，可对接PLC、上位机与半导体设备控制系统，符合SEMI E69行业规范，适配量产设备与高端科研实验系统集成使用。

主要技术参数

产品功能特点

1、内置100余种工艺气体数据库，支持最多5种气体混合组态，切换气体无需返厂重新标定，同一台设备适配多种工艺气体，降低备件数量。

2、数字模式1:150超宽量程比，小流量区间同样具备良好控制精度，可覆盖大跨度流量调节需求，减少不同量程MFC采购数量。

3、三档响应速度可配置，快速模式调节稳定时间小于500ms，适配工艺气体快速切换，保障薄膜工艺重复性。

4、密封方案灵活，标配橡胶密封，可选择金属密封版本，满足超高纯、腐蚀性特种气体传输，适配严苛半导体工艺。

5、丰富通讯方案，同时支持模拟信号与多种主流工业现场总线，兼容传统设备改造与新一代数字化产线集成。

6、DTB差分温度平衡传感技术，吹扫、短时超流量工况下传感器信号不会丢失，抗工艺波动能力更强，运行稳定性高。

7、用户可自定义I/O功能，支持报警输出、状态信号，便于设备联锁；整机功耗优化，适合机柜多台密集安装。

8、符合SEMI E69半导体行业规范，设备状态诊断信息完整，便于上位机读取运行状态与故障告警，方便产线维护管理。

典型应用领域

半导体工艺气体流量精准控制；PVD、CVD薄膜沉积工艺气体配比；特种腐蚀性、超高纯气体流量测控；ALD原子层沉积设备；高端科研真空实验系统；镀膜设备、等离子工艺设备气体供给控制场景。

订货与选配说明

订货确认流量量程、密封类型（橡胶密封或金属密封）、管路接口规格、通讯输出类型；可配套选型上位机调试软件、专用连接线缆。选型阶段结合工艺气体种类、流量区间、气源压力、产线总线协议确定完整配置。

补充说明

本产品信息整理自Bronkhorst布琅轲锶特官方公开样本手册，设备实际性能、接口规格以原厂出厂设备、产品说明书为准；金属密封版本针对特种气体工况，需要结合介质兼容性完成选型确认。