Bronkhorst布琅轲锶特 EL‑FLOW Metal‑Sealed F‑201CM 全金属密封质量流量控制器MFC 无橡胶密封圈 耐腐蚀可烘烤

Bronkhorst布琅轲锶特 EL‑FLOW metal‑Sealed F‑201CM 全金属密封质量流量控制器MFC 无橡胶密封圈 耐腐蚀可烘烤

Bronkhorst（布琅轲锶特，荷兰）F‑201CM属于EL‑FLOW金属密封系列热式MFC，采用专利金属‑金属密封结构，整机流路无橡胶密封圈，流路部件电抛光处理，洁净车间装配，具备耐腐蚀、耐受高真空、支持本体烘烤能力，适配卤素等各类腐蚀性特种气体，广泛用于半导体刻蚀、真空镀膜、卤素气体工艺等严苛工况的气体流量精准控制。

产品概述

F‑201CM依托热式质量流量传感原理，全金属金属对金属密封结构，消除橡胶密封件被腐蚀老化风险，流路本体支持烘烤除气，适配超高纯与强腐蚀性工艺气体。支持多气体多量程MG/MR功能，可存储多组气体标定曲线；数字模式可达1:150宽量程比，PID控制算法可配置响应速度。设备标配RS232通讯与模拟信号，可选EtherCAT、PROFIBUS‑DP、PROFINET、Modbus、DeviceNet等工业总线，可对接PLC、上位机系统，满足半导体产线数字化集成需求，适配量产设备与高端科研真空系统使用。接口主流采用VCR金属密封接头，保障高真空下密封性能，满足半导体行业洁净标准。

主要技术参数

产品功能特点

1、专利全金属对金属密封结构，流路无橡胶密封圈，规避卤素、腐蚀性气体对密封件的侵蚀，延长设备使用寿命，降低泄漏风险。

2、流路部件电抛光处理，洁净室组装，流路本体支持烘烤除气，适配高真空、超高纯工艺场景。

3、支持多气体多量程MG/MR功能，可存储多组气体标定曲线，切换工艺气体无需返厂标定，一台设备适配多种腐蚀性特种气体。

4、数字模式1:150超宽量程比，小流量段同样具备良好控制精度，覆盖大跨度流量调节需求。

5、PID控制响应速度可配置，可满足不同工艺对气体切换速度的需求，保障工艺重复性。

6、通讯方案丰富，同时支持模拟信号与多种主流工业现场总线，兼容老设备改造与新一代数字化半导体产线集成。

7、VCR金属密封接头，真空密封性能优异，适配真空腔体工艺气路布局。

8、具备完善设备诊断功能，可读取设备状态、报警信息，便于上位机监控与产线维护管理。

典型应用领域

半导体干法刻蚀设备腐蚀性气体流量控制；PVD、CVD真空镀膜特种气体供给；卤素类、反应性特种气体工艺流量测控；超高纯气体输送控制系统；科研真空设备腐蚀性气体实验；各类不允许橡胶密封件接触工艺介质的工艺场景。

订货与选配说明

订货确认流量量程、管路接口规格、通讯输出类型；可配套选型上位机调试软件、专用连接线缆。选型阶段重点确认工艺气体腐蚀特性、流量区间、烘烤工况、产线总线协议；注意设备电子单元部分不可烘烤，烘烤仅针对流路本体。

补充说明

本产品信息整理自Bronkhorst布琅轲锶特官方公开样本手册，设备实际性能、接口规格以原厂出厂设备、产品说明书为准；虽然为全金属密封版本，选型仍需要确认介质与流路金属材质兼容性，规避超出耐受范围的介质。