Bronkhorst布琅轲锶特 CEM受控蒸发混合系统（Controlled Evaporation Mixing）液态试剂汽化配气集成系统-流体仪表-产品-北京汉达森工业备件采购平台

品牌Bronkhorst布琅轲锶特	有效期至长期有效	最后更新2026-08-21 16:58
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Bronkhorst布琅轲锶特 CEM受控蒸发混合系统（Controlled Evaporation Mixing）液态试剂汽化配气集成系统

Bronkhorst（布琅轲锶特，荷兰）CEM受控蒸发混合系统为液态前驱体蒸汽供给成套单元，核心功能是将液态试剂精准汽化，与载气完成精确配比混合，输出稳定蒸汽送入反应腔体；整套系统由液体MFC、载气气体MFC、温控蒸发混合模块三大部分集成，可直接替代传统起泡器（bubbler），支持真空、常压工况，广泛用于ALD原子层沉积、CVD化学气相沉积、薄膜沉积、催化反应、材料实验室等气相工艺场景。

产品概述

CEM工作逻辑：液体MFC精确输送液态试剂，注入三通混合阀，与气体MFC输出的载气充分混合，进入温控蒸发模块完成完全汽化，输出组分稳定的饱和蒸汽进入反应器腔体。液体单元可选LIQUI‑FLOW热式液体MFC或mini CORI‑FLOW科里奥利MFC；蒸发模块主流型号W‑101A、W‑102A，最高加热温度200℃；系统液体量程覆盖0.25‑1200 g/h，输出蒸汽当量50 mlₙ/min‑100 lₙ/min。可蒸发单一组分液体、混合溶剂，也可蒸发溶剂溶解的固体溶质；相比起泡器，响应速度快、浓度可控、不受气源压力波动影响，摩尔配比精度高。可搭配本地TFT显示单元，也可通过RS232、工业总线对接PLC上位机，实现流量、温度、蒸汽浓度闭环控制与数据记录，也可提供VDM一体化整机版本。

主要技术参数

参数项目	技术指标	备注
产品型号	CEM系统，蒸发模块W‑101A / W‑102A；VDM一体化整机	成套包含液体MFC+气体MFC+温控蒸发单元
液体处理量程	0.25‑1200 g/h	根据选配液体MFC确定量程
输出蒸汽当量	50 mlₙ/min‑100 lₙ/min	由载气MFC与液体配比共同决定
蒸发模块最高加热温度	200℃	带超温安全保护开关
工作压力范围	真空～100 bar(a)	取决于配套MFC与接头耐压等级
接液材质	316L不锈钢；密封FFKM/金属密封可选	适配溶剂、有机前驱体等试剂
核心优势对比起泡器	响应快、配比精准；可蒸发混合液；压力波动不影响蒸汽浓度	可动态改变气液配比，无需等待泡瓶热平衡
标配通讯	RS232 FLOW‑BUS	整套系统统一总线控制
可选现场总线	EtherCAT、PROFIBUS‑DP、Modbus RTU	对接PLC、上位机Flowsuite软件
可选配件	TFT本地显示控制单元、伴热管线、双载气/稀释气扩展	蒸汽输出管路建议伴热防止冷凝
合规标准	CE、RoHS，可做ATEX防爆选型	有机溶剂危险工况可防爆配置

产品功能特点

1、模块化集成：液体MFC+载气MFC+温控蒸发模块组合，液体单元可按需选热式或科里奥利；科里奥利版本不受液体物性影响，适合组分变化大的试剂；热式版本性价比更高，适合低粘度稳定溶剂。

2、直接注入式汽化，气液混合充分，响应速度快，批次重复性好，可动态调节蒸汽浓度，克服传统起泡器滞后、压力扰动漂移的缺陷。

3、支持蒸发混合液体，也可处理溶剂溶解的固体溶质，拓展前驱体选型范围。

4、蒸发模块带温度闭环与超温保护，最高200℃，适配绝大多数有机液态前驱体；真空、常压工艺均可使用。

5、整套系统统一通讯，可同时监控液体流量、载气流量、蒸发温度，计算输出蒸汽摩尔浓度，工艺数据可追溯。

6、可扩展双载气、稀释气通路，适配ALD脉冲工艺、CVD连续镀膜工艺；也可提供VDM一体化预装整机，减少客户管路组装工作量。

7、重要提示：蒸汽输出管路必须做伴热保温，避免蒸汽冷凝回流；易分解试剂需要控制蒸发温度，防止前驱体热分解。

典型应用领域

ALD原子层沉积液态前驱体供给；CVD、MOCVD薄膜沉积；钙钛矿光伏镀膜；催化反应蒸汽进料；材料实验室气相实验；燃料电池加湿；分析仪器标准蒸汽发生；各类需要把液态试剂转化为可控蒸汽送入真空腔体的工艺场景。

订货与选配说明

订货确认液体量程，选择热式LIQUI‑FLOW或科里奥利mini CORI‑FLOW液体MFC；确定载气MFC量程；选定蒸发模块型号W‑101A/W‑102A/VDM整机；确认接口、密封材质、通讯；按需选配TFT控制面板、伴热管线、防爆版本。选型评估试剂沸点、热稳定性，输出管路务必配置伴热，防止冷凝。