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| 品牌INFICON英福康 | 有效期至长期有效 | 最后更新2026-08-20 16:15 |
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INFICON英福康 BPG402‑SD 皮拉尼‑热离子（Bayard‑Alpert）复合真空计
INFICON英福康 BPG402‑SD 皮拉尼‑热离子（Bayard‑Alpert）复合真空计 大气压至超高真空总压测量 模拟数字双输出
INFICON（英福康，瑞士）BPG402‑SD属于BPG402‑Sx系列复合真空计，集成皮拉尼热传导与贝阿德‑阿尔珀特热离子测量单元，单台实现5×10⁻¹⁰ mbar至大气压超宽量程总压连续测量，同时支持模拟电压与DeviceNet数字总线输出，传感单元内置板载校准数据，传感器可单独更换，适配科研真空系统、电子束蒸发、离子束设备等超高真空工况压力监测。
产品概述
BPG402‑SD将皮拉尼与热离子B‑A规集成于紧凑型本体，皮拉尼负责粗‑中真空区间，热离子规实现超高真空测量；配备双支氧化钇涂层铱长寿命灯丝，皮拉尼压力联锁机制，避免大气压下灯丝烧毁，提升设备可靠性。传感器探头存储出厂校准参数，现场更换传感单元无需整机重新标定。BPG402‑SD搭载DeviceNet数字通讯，同时保留0‑10V对数模拟输出，可对接真空控制器、PLC与上位机系统；支持电子轰击除气功能，可对规管电极除气，减少污染带来的测量漂移；电子单元可拆装，法兰可承受烘烤，适配科研及工业高真空设备集成使用。同系列还有BPG402‑SE(EtherCAT)、BPG402‑SP(RS232)不同总线版本。
主要技术参数
| 参数项目 | 技术指标 | 备注 |
| 产品型号 | BPG402‑SD | 皮拉尼‑热离子Bayard‑Alpert复合真空计 |
| 测量量程（氮气） | 5×10⁻¹⁰ ~ 1000 mbar | 覆盖超高真空至大气压完整区间 |
| 测量精度 | ±15%读数 | 1×10⁻⁸～10⁻² mbar区间，氮气条件 |
| 测量重复性 | ±5%读数 | 1×10⁻⁸～10⁻² mbar区间，氮气条件 |
| 灯丝配置 | 双氧化钇涂层铱灯丝 | 一支故障可切换另一支，延长运行时间 |
| 除气功能 | 电子轰击除气，最长3min | 压力需低于7.2×10⁻⁶ mbar执行除气 |
| 标准模拟输出 | 0‑10V DC对数信号 | 压力对数输出，含故障状态信号 |
| 数字总线 | DeviceNet（BPG402‑SD） | 同系列SE：EtherCAT；SP：RS232 |
| 供电电压 | +20～+28V DC | 直流供电 |
| 真空法兰选型 | CF/KF多种规格可选 | 订货指定接口 |
| 法兰烘烤温度 | 法兰部分最高80℃；长管版本可达250℃ | 电子单元不可烘烤 |
| 工作环境温度 | 0℃～+50℃ | 仪表外部环境温度 |
| 合规标准 | CE、RoHS | 工业设备认证 |
产品功能特点
1、一体化复合测量结构，单台真空计完成5×10⁻¹⁰ mbar至大气压总压测量，减少多台真空计组合安装，简化真空系统布局。
2、双长寿命氧化钇铱灯丝，皮拉尼联锁保护逻辑，压力过高时自动关闭热离子灯丝，防止灯丝烧毁，降低设备故障风险。
3、传感单元内置板载校准数据，现场可单独更换探头，无需整机返厂重新标定，缩短设备维护停机时间。
4、BPG402‑SD为DeviceNet数字接口版本，同时兼容传统模拟对数输出，新旧控制系统均可对接，适配多种设备集成方案。
5、支持电子轰击除气功能，可清除规管电极表面吸附杂质，降低污染带来的测量漂移，保障超高真空段测量稳定性。
6、电子单元可拆卸分离，真空法兰可高温烘烤，适配需要腔体烘烤除气的超高真空系统。
7、具备完善设备诊断，可读取灯丝状态、故障告警信息，便于远程监控设备运行状态。
8、同系列可按需选择不同总线版本：BPG402‑SP(RS232)、BPG402‑SE(EtherCAT)，匹配不同设备通讯协议。
典型应用领域
科研实验室超高真空系统压力监测；电子束蒸发镀膜设备总压测量；离子束刻蚀、离子束沉积设备腔体压力监控；各类高真空、超高真空工业设备；真空热处理设备、表面物理实验真空腔体压力采集场景。
订货与选配说明
订货确认总线版本BPG402‑SD(DeviceNet)、真空法兰规格；可选配真空计控制器、本地显示模块、专用连接线缆、备用传感探头。选型阶段确认腔体烘烤需求、控制系统通讯协议、压力测量区间，确定完整配置。该设备不适合强腐蚀工艺工况。
补充说明
本产品信息整理自INFICON英福康官方公开样本手册，设备实际性能、接口规格以原厂出厂设备、产品说明书为准；热离子灯丝存在使用寿命，超高真空工况下建议定期执行除气操作，保障测量精度。
