​INFICON英福康 CDG045D2 电容式隔膜真空计 陶瓷薄膜规 45℃温控腐蚀工艺真空压力测量

INFICON英福康 CDG045D2 电容式隔膜真空计 陶瓷薄膜规 45℃温控腐蚀工艺真空压力测量

INFICON（英福康，瑞士）CDG045D2属于Edge系列电容隔膜真空计，也常被称作陶瓷薄膜规，传感器恒温控制45℃，输出信号不受被测气体种类影响，可用于腐蚀、等离子等严苛工艺环境下的高精度绝对压力测量，广泛适配半导体工艺、光学镀膜、锂电池制造、化工真空等工业场景。

产品概述

CDG045D2采用超纯氧化铝陶瓷传感膜片，搭配专利传感器屏蔽结构，可抵御工艺副产物沉积腐蚀，传感器恒定45℃控温，降低环境温度波动带来的测量偏差，保障长期量程与零点稳定性。设备整机体积紧凑，占用设备空间小，支持模拟输出与可选EtherCAT现场总线，方便集成到各类真空设备与产线控制系统，支持本地一键归零以及远程调零操作，降低现场调试维护工作量，满足SEMI、CE、RoHS等行业相关标准要求。

主要技术参数

产品功能特点

1、45℃恒定传感器控温，抑制工艺气体冷凝，减小环境温度波动带来的测量漂移，在腐蚀等离子工艺环境保持测量稳定。

2、陶瓷隔膜传感结构，测量输出不受气体种类影响，无需针对不同工艺气体做修正换算，压力读取直接可用。

3、专利传感器屏蔽防护结构，阻挡工艺副产物、沉积物接触传感膜片，延长仪表使用寿命，降低受工艺污染带来的故障概率。

4、整机紧凑型结构，设备本体外壳可保持低温，节省真空机台内部安装空间，便于设备集成布局。

5、支持本地按键调零，同时支持远程信号调零，适配自动化产线无人值守工况；自带两路压力设定继电器输出，可直接联动外部设备。

6、预留诊断维护端口，方便现场故障排查与设备检修；优异长期信号重复性，可减少频繁重新校准频次。

7、接口配置灵活，可选择标准模拟输出，也可选配EtherCAT工业总线，对接PLC与上位机控制系统。

8、满足SEMI、CE、UL、RoHS相关合规标准，适配洁净车间与工业制造现场使用要求。

典型应用领域

半导体蚀刻、CVD、PVD等工艺腔体压力监测；光学镀膜、硬质涂层真空设备压力测量；锂电池制造真空工艺压力检测；化工腐蚀气体真空工况压力采集；各类工业真空腔体、工艺管路绝对压力监测；等离子工艺、腐蚀性气体环境高精度压力测试场景。

订货与选配说明

CDG045D2支持多种满量程规格、真空法兰接口、通讯版本选型，可根据实际工艺压力区间、设备接口、控制系统需求选择对应配置。配套可选用对应真空计控制器、专用连接线缆等配件。

补充说明

本产品信息整理自INFICON英福康官方公开样本手册，产品实际性能、接口规格以原厂出厂设备、产品说明书为准；选型阶段需要结合实际工艺介质、压力范围、安装条件确认具体订货型号。