INFICON英福康 MPG400 全量程真空计 皮拉尼‑反磁控复合真空规 KF25接口 5×10⁻⁹mbar至大气压真空压力检测

INFICON英福康 MPG400 全量程真空计 皮拉尼‑反磁控复合真空规 KF25接口 5×10⁻⁹mbar至大气压真空压力检测

INFICON（英福康，瑞士）MPG400为一体化复合全量程真空计，集成皮拉尼与反磁控（倒置磁控冷阴极）两种测量原理，单台设备实现5×10⁻⁹ mbar至大气压完整量程覆盖，标配KF25真空接口，采用对数模拟信号输出，简化真空系统集成，适配镀膜、溅射设备以及各类通用真空设备的压力监测工作。

产品概述

MPG400将皮拉尼热传导测量单元与反磁控冷阴极测量单元集成于同一紧凑本体，无需多台真空计组合，即可完成从高真空到大气压的连续压力采集。设备无易烧毁灯丝部件，具备良好的点火启动性能，规管部件可拆解清洁；整机支持任意方位安装，配备高压状态LED指示灯，输出统一对数模拟电压信号，便于对接真空计控制器、PLC等控制系统，满足工业真空设备连续监测需求。MPG400采用FPM密封结构，同系列另有MPG401金属密封版本可供选型。

主要技术参数

产品功能特点

1、一体化复合测量结构，皮拉尼与反磁控冷阴极集成单台本体，一台真空计完成5×10⁻⁹mbar至大气压全量程压力测量，减少设备配件数量，降低安装集成工作量。

2、冷阴极反磁控测量原理，无灯丝结构，规避灯丝烧损故障风险，提升设备使用寿命，具备可靠的点火启动特性。

3、规管组件支持拆解清洁，便于处理工艺粉尘、镀膜沉积物污染场景，维护操作便捷。

4、统一对数模拟电压输出，全量程连续信号，无需多通道信号拼接，适配真空控制器、PLC上位机采集。

5、自带高压工作状态LED指示灯，直观反馈设备工作状态，便于现场调试巡检。

6、支持任意方位安装，适配设备内部狭小安装空间，整机功耗低，适合长期不间断在线监测。

7、可搭配INFICON VGC40x、VGC50x系列真空计控制器使用，也可对接第三方采集控制系统。

8、具备故障信号输出识别，可识别供电缺失、皮拉尼元件异常等设备状态，方便系统做故障告警处理。

典型应用领域

光学镀膜、蒸发镀膜、溅射设备腔体基础压力监测；各类通用真空设备、真空腔体全量程压力采集；真空工艺设备整机压力监控；科研实验真空系统压力测试；工业真空管路、真空机组压力监测场景。

订货与选配说明

MPG400为FPM密封KF25接口版本；同系列MPG401为金属密封型号，适配更高洁净度工况。配套可选用真空计控制器、专用连接线缆等配件，选型时结合工艺气体、洁净等级、接口规格确认订货型号。该设备不适合用于空气中会发生反应的易燃易爆气体测量。

补充说明

本产品信息整理自INFICON英福康官方样本手册，产品实际性能、接口规格以原厂出厂设备、产品说明书为准；选型阶段需要结合实际工艺介质、压力范围、控制系统条件确认具体配置。