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| 品牌INFICON英福康 | 有效期至长期有效 | 最后更新2026-08-20 14:34 |
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INFICON英福康 UL1000 Fab 干式氦质谱检漏仪 移动式半导体氦气检漏设备
INFICON英福康 UL1000 Fab 干式氦质谱检漏仪 移动式半导体氦气检漏设备
INFICON（英福康，瑞士）UL1000 Fab氦质谱检漏仪，是面向半导体、洁净工业真空场景的干式氦气检漏设备，采用ULTRATEST™传感技术，整机干式泵组结构，可规避被测工件受到碳氢化合物、颗粒污染风险，兼顾检测灵敏度、响应速度与设备运行经济性，广泛用于半导体工厂、平板显示、太阳能电池、真空组件、密封电子元器件的泄漏检测工作。
产品核心概述
UL1000 Fab为移动式干式氦质谱检漏仪，适配洁净厂房、半导体产线维护、真空设备检修等场景。设备搭载I‑CAL智能漏率计算算法，全量程实现快速信号响应；可选iZERO背景抑制功能，可在高氦气本底环境下完成泄漏测试；整机带滚轮移动结构，方便狭小维护空间作业；双灯丝离子源设计，降低后期维护成本，适配长期连续工业检漏工况。
主要技术参数
| 参数项目 | 技术指标 | 备注 |
| 真空模式最小可检漏率 | <5×10‑12 mbar·l/s | 氦气，ULTRA模式 |
| 嗅探模式最小可检漏率 | <5×10‑8 mbar·l/s | 氦气嗅探检漏模式 |
| 测量量程跨度 | 12个数量级 | 全量程无切换断点 |
| 漏率信号时间常数 | ＜1s | 信号63%稳定值响应时间 |
| 最大入口压力（GROSS） | 15 mbar | 粗检模式 |
| ULTRA模式最大入口压力 | 0.4 mbar | 高灵敏度模式 |
| 前置真空泵类型 | 干式压缩泵 | 无油干式结构 |
| 前置泵抽速（50Hz） | 25 m³/h | 空气抽速 |
| ULTRA模式氦抽速 | 2.5 L/s | 氦气抽速 |
| 质谱仪结构 | 180°扇形磁场 | 扇形场质谱分析器 |
| 离子源 | 铱钇涂层双灯丝 | 长寿命灯丝，原厂3年质保 |
| 测试接口 | DN25 KF（可选DN40 KF） | 标准真空法兰接口 |
| 通讯接口 | RS232，PLC兼容IO | 支持上位机与设备联动控制 |
| 供电规格 | 100‑240V 50/60Hz | 宽电压输入 |
| 整机尺寸（长×宽×高） | 1068×525×850 mm | 含推把手轮整体尺寸 |
| 整机重量 | 110 kg | 整机金属壳体带移动轮 |
| 工作环境温度 | +10℃ ~ +40℃ | 设备运行环境条件 |
产品功能特点
1、干式真空泵组，无油设计，避免油蒸汽、颗粒物污染被测工件，满足半导体洁净车间使用要求。
2、I‑CAL智能漏率计算算法，全测量量程下缩短信号响应时间，低漏率区间也可获得快速稳定测量结果。
3、可选iZERO本底抑制功能，可在环境氦本底偏高工况下，快速建立测试基线，缩短测试循环时间。
4、可旋转操作显示屏，搭配声光泄漏报警提示，人机交互操作便捷；可选RC1000有线/无线遥控组件，实现远距离设备操作。
5、内置标准校准漏孔，支持设备自动校准，保障检测结果一致性，降低日常校验工作量。
6、整机移动式金属机身，集成万向脚轮与推拉手，设备转运灵活，适配车间、机台现场检修检漏作业。
7、支持SMART‑Spray、SPRAY‑Check检漏辅助工具，降低氦气消耗，辅助确认检漏仪工作状态，提升喷淋检漏稳定性。
8、可搭配TC1000测试盒，完成IC封装、石英晶体、激光二极管等密封元器件的气密性测试，满足MIL‑STD 883方法1014相关测试要求。
典型应用领域
半导体设备及零部件泄漏检测，半导体机台维护检漏；平板显示器、太阳能电池制造工序检漏；高洁净度工业真空设备、真空组件出厂检测；工艺气体管路、气路系统气密性检测；密封电子元器件、集成电路封装气密性测试；汽车零部件、制冷换热器件泄漏检测；各类真空腔体、真空子组件出厂与现场检修检漏工作。
可选配套配件
RC1000无线/有线遥控器、TC1000密封件测试盒、SMART‑Spray喷淋检漏组件、SPRAY‑Check校验组件、嗅探探头、Leakware上位机测控软件、外置标准漏孔、氦气瓶支架等，可根据实际测试工况选配采购。
补充说明
本产品为INFICON（英福康）原厂UL1000 Fab氦质谱检漏仪，以上参数、功能均参考品牌官方公开资料整理；实际设备性能以原厂出厂说明书、设备铭牌为准，选型阶段可结合测试压力、漏率范围、工件类型确认配置方案。
