nEXT85D混合轴承涡轮分子泵 DN63 ISO‑K实验室质谱仪器真空分子泵

Edwards爱德华 nEXT85D 涡轮分子泵（混合轴承科研分子泵）

nEXT85D为爱德华nEXT系列混合轴承涡轮分子泵，上部采用永磁磁力轴承，下部配置油润滑轴承，集成牵引级结构与机载内置控制器，兼顾洁净真空、运行稳定性与背压耐受能力，体积小巧，支持现场维护，广泛应用于科研分析仪器、小型高真空腔体，适配无油前级泵或油式前级泵组合搭建高真空系统。

核心技术参数

产品功能特点

混合轴承结构，上轴承永磁磁力无接触设计，泵腔侧无油气释放，保障真空洁净度；下部油润滑轴承带来良好机械稳定性，抗冲击能力优于全磁悬浮分子泵，兼顾洁净与可靠性。

转子集成复合牵引级，对前级压力耐受表现较好，对轻气体具备不错抽气压缩能力；机身集成机载控制器，无需外置驱动盒，简化真空系统搭建，节省设备空间。

支持现场用户维护，可直接更换轴承油盒组件，不必整机返厂维修，降低停机时间与运维成本；配置手动破空阀，可升级电磁阀实现自动化破空流程，适配自动化真空工位。

支持多姿态安装，满足设备集成安装需求；具备烘烤能力，适配需要高温除气的超高真空工况；数字IO与串口接口，可接入上位控制系统，实现启停、状态读取、故障报警等远程管理。

整机重量轻，体积紧凑，振动输出低，适配精密分析仪器配套使用；法兰规格丰富，方便对接不同腔体管路。

主要应用领域

质谱仪器、扫描电镜、表面分析设备配套；高校科研实验室高/超高真空系统；小型真空镀膜设备；氦质谱检漏仪高真空腔体；光电、材料科研试验腔体；小型离子束、电子束设备；各类需要兼顾洁净与稳定性的中小型高真空装置。

配套选购提示

选型确认进气法兰规格，根据工况选择风冷或者水冷版本；需要洁净真空优先搭配干式前级泵；定期检查轴承状态，按照周期执行维护；运行过程避免大量粉尘、腐蚀性气体进入泵体，进气端可按需配置防护筛网。