爱德华nXDS10i涡旋干泵 DN25‑KF实验室无油真空抽气设备

Edwards爱德华 nXDS10i 干式涡旋真空泵（无油洁净前级主力）

nXDS10i为爱德华新一代无油涡旋干式真空泵，泵腔内部无润滑油，规避油品返油污染风险，搭载集成变频控制系统，兼顾极限真空性能与可凝蒸汽处理能力，常作为涡轮分子泵、氦质谱检漏仪洁净前级泵，适配仪器分析、实验室、半导体小型腔体等对真空洁净度有要求的工况场景。

核心技术参数

产品功能特点

整机无油结构设计，泵腔内部不使用润滑油，消除返油污染风险，可满足精密设备对洁净真空的使用需求，无需处理废真空泵油，运维环境更友好。

内置可调气镇阀，可处理水、部分溶剂、稀酸碱类可凝蒸汽，拓展设备适用工况；集成变频驱动，支持转速调节，兼顾抽气效率与节能运行，具备待机低速模式，降低持续运行功耗与噪音输出。

端面密封结构优化，密封件更换维护周期较长，支持现场拆机维护，减少整机返厂停机时间；自带设备状态诊断，可监控运行异常，便于故障排查；操作面板简洁直观，本地按键可完成启停、参数设置操作。

配置USB与RS232通讯接口，支持上位机远程控制，既适合实验室单机手动操作，也可集成到自动化真空工位；通用KF25法兰，管路对接便捷；宽电压适配，适配国内以及海外不同供电条件。

主要应用领域

用作涡轮分子泵、氦质谱检漏仪无油前级泵；扫描电镜、质谱仪等分析仪器配套；半导体小型腔体、Load‑Lock预抽；高校科研实验室洁净真空系统；真空镀膜小样实验；手套箱辅助抽气；锂电、光伏小型工艺真空，对无油环境有要求的密封性检测场景。

配套选购提示

该机型不可抽取大量粉尘、强腐蚀及易燃易爆气体；处理腐蚀性介质建议选配化学耐受套件；进气端建议配置过滤器，阻挡颗粒进入泵体；定期检查密封件状态，保障真空性能。