Levitronix LEVIBOOST75半导体增压系统 75L/min无轴承超纯水药液压力补偿单元

LEVIBOOST 75 超纯压力增压系统

LEVIBOOST 75为Levitronix莱维创思一体化半导体超纯压力增压整机系统，基于磁悬浮无轴承泵集成压力传感、控制单元、漏液监测模块，可对厂务端来流压力进行稳定增压与稳压补偿，消除管网压力波动，输出稳定无脉动高压流体，适配晶圆高压喷淋清洗、单片清洗设备，可直接集成至湿法工艺设备内部，支持风冷、水冷两种散热方案可选。

核心技术参数

产品功能特点

整机集成磁悬浮无轴承泵单元，叶轮无轴承无动密封，无机械摩擦副，避免磨损产生颗粒碎屑，降低超纯水、高纯化学品输送过程颗粒与金属离子污染，满足半导体前道严苛洁净等级。

内置高纯压力传感器实时采集入口与出口压力，系统自动对厂务管网压力波动进行动态补偿，不受上游供水压力变化、多设备同时用水带来的压力扰动影响，保障清洗喷头端输出压力稳定，改善晶圆高压喷淋工艺一致性，助力良率管控。

支持风冷与水冷散热选型；水冷版本适配产线高温介质、长时间连续运行工况；整机自带漏液传感器，发生介质渗漏可输出报警信号；完备电气接口，接入产线PLC实现压力目标设定、运行状态读取、故障上报。

无脉动流体输出，避免压力冲击对晶圆、管路接头带来的影响；整机模块化框架设计，安装占用空间小，可用于新设备配套，也可用于存量清洗设备改造升级；支持防静电、防爆版本适配特殊化学品工况。

主要应用领域

多用于8寸、12寸半导体晶圆单片高压喷淋清洗、兆声波清洗、湿法工艺药液增压；适配先进封装、平板显示、光伏产线，用于超纯水、腐蚀性高纯药液的压力提升与稳压，解决厂务端压力不足、管网压力波动带来的工艺不稳定问题。

配套选购提示

根据介质工况选择标准、防静电AS或者ATEX防爆版本；长时间连续高温运行建议选用水冷散热模块；介质温度、粘度不可超出设备规格；系统需要匹配上游厂务压力区间；泵头为介质接触部件，建议结合生产工况定期检查维护；不可以跨系列混用泵头、电机与控制器组件。