*N-865 PI微型定位六足位移台

PI公司介绍：

PI位于德国，是一家典型的高科技中型企业。公司的规模使其能迅速灵活地响应客户的要求，同时还可满足已建立并经测试的流程的可靠性和安全性要求。PI因其产品的高质量和客户关系的整体可靠性而闻名。

由于PI致力于在范围内将其广泛的技术型谱用于精密定位，PI (Physik Instrumente)已成为OEM业务中的强大合作伙伴。这向客户保证了PI将始终为他们的应用选择解决方案，且无任何限制。

PiezoWalk®技术：高分辨率、低磨损

PiezoWalk®技术将压电陶瓷促动器与压电电机的技术优势结合在一起。PiezoWalk®步进驱动器不仅能提供亚纳米级分辨率、较大的力和高刚性，而且根据其驱动原理，其还能实现理论上无限的行程。不同于其他压电机动化驱动器原理，PiezoWalk®步进驱动器不受滑动摩擦作用的影响。其是基于几个压电陶瓷促动器的静摩擦接触，这几个促动器沿一个动轮步进。前馈时，促动器被从动轮处物理提升，几乎不会造成任何磨损。在促动器上相对于动轮施加预载可确保步进驱动器自锁。因此，步进驱动器静止状态下将保持位置，关机时可实现机械稳定（无伺服抖动）。静止状态自锁，无能量消耗，无热量产生。

带PIOne线性编码器用于直接位置测量

高分辨率PIOne编码器由PI研发，在对测量数据进行相应处理后，可实现远低于1纳米的位置分辨率。光学非接触式PIOne编码器基于干涉测量原理。其以极高的精度直接在运动平台上进行实际位置测量，因此非线性效应、机械作用或弹性形变不会对位置测量造成影响。由于信号周期仅为0.5微米，信号质量高，PIOne编码器的线性误差小于1 %。PIOne编码器在研究参考信号时支持方向感应。

交叉滚子轴承

利用交叉滚柱轴承，滚珠轴承中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此，它们的刚度明显提高，需要的预载更小，这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱轴承的另一个特征是高导向精度和负载能力。力导向滚动体保持架防止线性导向蠕变。

有效zhuan li 

在压电陶瓷步进驱动器（NEXACT®、NEXLINE®）技术领域，PI拥有以下zhua li或zhuan li申请：

DE10148267B4, EP1267478B1, EP2209202B1, EP2209203B1, US6800984B2

应用领域

样本操纵、样本定位、高精度和高稳定性光学或机械部件、半导体行业中的精密机械部件、显微操纵、显微镜、自动化、有限空间内的应用、真空或无磁性环境中的应用。.

规格

技术参数为 20±3 °C下的数值。

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* 单个坐标（X、Y、Z、θX、θY和θZ）的行程相互依赖。本表中各轴对应的数值为其大行程，此时其他轴和枢轴点位于参考位置。

订购信息

N-865.160

SpaceFAB，NEXACT®压电陶瓷步进驱动器，X和Y向上的行程为±6.5毫米，Z向上的行程为±5毫米 ，θx和θy向上的旋转范围为±7度，θz，θz向上的旋转范围为±8度，Z向上的负载能力为15牛