Q-845 PI（Physik Instrumente）六足位移台

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PI公司介绍：

PI位于德国，是一家典型的高科技中型企业。公司的规模使其能迅速灵活地响应客户的要求，同时还可满足已建立并经测试的流程的可靠性和安全性要求。PI因其产品的高质量和客户关系的整体可靠性而闻名。

产品描述

六自由度      X和Y向上的行程为±7毫米，Z向上为±5毫米      θX、θY向上的的旋转范围为±7度， θZ向上为±8度

负载能力为10牛，居中固定      自锁，静止状态下无热量产生      真空兼容至10-6百帕

压电惯性驱动器

压电陶瓷惯性驱动器为空间节约型且价格实惠的基于压电陶瓷的驱动器，其保持力相对较大，行程几乎是无限的。惯性驱动器原理是基于由特殊驱动器电控提供的修正锯齿波电压控制的单个压电促动器。促动器缓慢膨胀，移动转子。由于其惯性，转子无法跟上促动器随后的快速收缩，停留在其位置上。高达20kHZ的工作频率可使被直接驱动的转子的速度大于5毫米/秒。

交叉滚子轴承

利用交叉滚柱轴承，滚珠轴承中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此，它们的刚度明显提高，需要的预载更小，这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱轴承的另一个特征是高导向精度和负载能力。力导向滚动体保持架防止线性导向蠕变。

应用领域

工业和科研。测量技术、显微镜、显微操纵、生物技术和自动化。

规格

	Q-845.140	单位	公差
运动和定位
主动轴	X，Y，Z，θX，θY，θZ
集成传感器	增量线性编码器
X、Y向上的行程*	±7	毫米
Z向上的行程*	±5	毫米
θX、θY向上的旋转范围*	±7	°
θZ向上的旋转范围*	±8	°
传感器分辨率	1	纳米
X、Y向上的小位移	6	纳米	典型值
Z向上的小位移	20	纳米	典型值
θX、θY、θZ向上的小位移	0.9	微弧度	典型值
X、Y向上的单向重复精度	±30	纳米	典型值
Z向上的单向重复精度	±35	纳米	典型值
θX向上的单向重复精度	±20	微弧度	典型值
θY向上的单向重复精度	±10	微弧度	典型值
θZ向上的单向重复精度	±6	微弧度	典型值
X、Y向上的空回	40	纳米	典型值
Z向上的空回	60	纳米	典型值
θX、θY向上的空回	35	微弧度	典型值
θZ向上的空回	20	微弧度	典型值
X、Y和Z向上的大速度	5	毫米/秒	大
θX、θY和θZ向上的大角速度	50	毫弧度/秒	大
机械特性
X、Y向上的刚性	1	牛/微米
Z向上的刚性	2	牛/微米
X、Y向上的负载能力	5	牛	大
Z向上的负载能力（底板为水平方向）	10	牛	大
保持力，断电（底板为水平方向/任意方向）	20 / 10	牛	大
θX、θY、θZ向上的允许力矩	0.5	牛米	大
驱动类型	压电惯性驱动器
其他
工作温度范围	0 到 40	°C
连接	6个Sub-D 15针（公）
材料	不锈钢，铝
质量	1.9	千克	±5 %
不带电缆和连接器的质量	1.2	千克	±5 %
电缆长度	2	米	±10 毫米

技术参数为 20±3 °C下的数值。

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* 单个坐标（X、Y、Z、θX、θY和θZ）的行程相互依赖。本表中各轴对应的数值为其大行程，此时其他轴和枢轴点位于参考位置。

订购信息

Q-845.140

Q-Motion®

SpaceFAB，压电惯性驱动器，X和Y向上的行程为±7毫米，Z向上的行程为±5毫米，θx、θy向上的旋转范围为±7度，θz向 上的旋转范围为±8度，负载能力为10牛，真空兼容至10-6百帕