ADL GX 100/800V-10kW-25A 水冷DC电源——10kW功率，专为溅射工艺设计

一、公司简介

德国ADL专注工业直流电源与脉冲发生器研发制造，产品服务于真空镀膜、等离子体处理及科研领域。

二、产品简介

GX 100/800V‑10kW‑25A为水冷式直流电源，输出电压800V、额定电流25A、功率10kW。采用水冷散热与自动灭弧技术，适配磁控溅射、离子源激发等真空镀膜工艺场景。

三、详细介绍

GX 100/800V‑10kW‑25A属于ADL GX系列水冷直流电源，专为真空镀膜与等离子体工艺场景开发。该型号输出电压800V、额定电流25A、功率10kW，可在全输出功率下连续运行，不受工作时间限制。

在散热方面，设备采用水冷散热结构，相较传统风冷方案散热效率更高，可稳定带走整机运行热量，适配长时间满负荷连续作业工况。设备运行噪音低，无风扇积尘问题，符合无尘车间对洁净度的要求。电源支持并联运行，通过Arc‑link配件可扩展总功率，满足大面积镀膜或多靶位生产线的供电需求。

该电源支持恒压、恒流、恒功率三种工作模式，具备悬浮无电位输出设计，可适配金属靶材、陶瓷靶材等多种溅射负载。设备搭载数字控制系统，可根据等离子负载阻抗变化实时修正输出参数，输出精度电压±1%、电流±1%。

设备配备多种控制接口选项，包括模拟接口、Profibus DP、EtherCAT®、RS232/485等，可接入PLC/DCS自动化系统实现远程参数设定与运行数据采集。

四、技术参数

五、应用行业

真空镀膜：磁控溅射、离子源激发、硬质薄膜沉积（工具镀膜、光学镀膜、装饰镀膜）

太阳能光伏：太阳能电池生产线薄膜沉积工艺供电

平板显示：FPD、彩色滤光片制造中的溅射工艺

科研与实验室：等离子体处理、材料表面改性实验

工业电化学：电解加工、阳极氧化等高电压工艺