PiezoMotor Piezo LEGS 系列线性压电电机产品参数与特性说明

PiezoMotor 旗下 Piezo LEGS 线性压电执行器依托压电微步进驱动技术，覆盖 6.5N～450N 推力区间，分为小型精密模组、中推力无磁真空机型、重载直驱执行器三大类，适配半导体、光学显微、医疗核磁、真空检测等高精度设备场景。
一、各型号详细参数与产品特点
1. LEGS LL06（6.5N 标准紧凑型）
核心电气机械参数
堵推力：6.5N，断电保持力与额定推力一致
机身重量：16g，整机体积小巧
行程可选：30/40/50/60/100.8mm 多规格推杆
标配组件：内置高精度编码器、一体式精密导向结构
适用环境：常规大气环境，可按需定制真空无磁版本
产品结构特点
直驱结构，无需齿轮、丝杆等传动部件，不存在回程间隙；
支持亚纳米级细分定位，启停响应速度快；
断电自锁，维持定位状态无需持续供电；
集成导向省去外置导轨配套，简化设备集成结构。
适配场景：微型光学对焦、小型探针台、实验室精密微调工装。

2. LEGS LL10（6.6N 无磁真空款）
核心电气机械参数
堵推力：6.6N，保持力＞6.6N
壳体材质：无磁合金、陶瓷驱动单元，10mm 处磁通量低于 1nT
真空适配：可耐受 10⁻⁷torr 高真空工况，支持 125℃烘烤
工作温区：-20℃～+70℃，推杆长度多规格可选
产品结构特点
无磁设计，自身不产生磁场，不受外部磁场干扰；
同时兼容常规大气、真空两类使用环境；
微步进细分，**运动增量可达亚纳米级别；
无机械间隙，长期定位漂移幅度可控。
适配场景：核磁配套设备、电子束检测、弱磁测量仪器。
3. LEGS LT20（20N 中型无磁真空电机）
核心电气机械参数
堵推力：20N，断电自锁保持力不衰减
环境属性：无磁机身，高真空兼容
编码器配置：需外接外置位置编码器使用
直驱传动，无丝杆齿轮结构
产品结构特点
推力尺寸比表现均衡，机身轻量化同时承载中等负载；
可在磁场、真空双重严苛环境稳定运行；
动态响应区间宽，低速纳米级移动、高速毫米级移动均可实现；
多点位标准安装孔，适配各类位移台固定。
适配场景：半导体掩模对位、真空镀膜微调、精密光学平台。

4. LEGS LT40（40N 大推力无磁真空电机）
核心电气机械参数
堵推力：40N，机身净重 61g
版本区分：标准不锈钢款、无磁常规款、无磁真空款三类
**空载速度：12mm/s，*小移动步长 0.5nm
真空等级：10⁻⁷torr，适配烘烤工艺
产品结构特点
同等体积下推力输出更高，适合中等负载精密位移；
无磁陶瓷驱动单元，规避电磁干扰对精密检测的影响；
摩擦自锁结构，断电无位移偏移；
分体导向结构，可搭配外置高精度导轨拓展行程。
适配场景：晶圆检测载台、离子注入设备、真空光学校准机构。
5. LEGS LTC40（40N 防尘封闭式电机）
核心电气机械参数
堵推力：40N，直驱无间隙
机身结构：外部全封闭金属防护罩
标准行程：0～12.8mm
运行环境：常规车间、多粉尘大气工况，不建议超高真空使用
产品结构特点
外壳防护结构，阻挡粉尘、碎屑进入传动区域，降低磨损；
保留自锁、亚纳米定位、快速响应等压电基础特性；
一体式圆筒机身，安装布局简洁。
适配场景：自动化产线微调机构、室内精密测试设备。

6. LEGS LTC300（300N 重载真空执行器）
核心电气机械参数
堵推力：300N，断电保持力大于额定推力
标准行程：20mm
**空载速度：0.3mm/s，适配低速重载工况
真空兼容：支持高真空腔体使用
产品结构特点
双压电并联驱动结构，重载承载能力更强；
全直驱无间隙，长期承压无回程误差；
圆筒一体化机身，法兰标准安装接口；
负载静置时无需持续通电，降低真空腔体发热。
适配场景：真空加压工装、大型光学镜架调整、重型晶圆夹持机构。
二 主流应用行业
半导体制造：掩模对位、晶圆探针检测、离子注入、光刻微调机构；
光学与计量设备：干涉仪、显微镜对焦、滤光片切换、激光光路校准；
真空设备：真空镀膜、电子束 / 离子束腔体位移模组；
医疗科研：核磁配套位移工装、生物细胞观测微调平台；
工业精密自动化：高精度探针、微型夹持、无尘车间微调单元。