德国Phytron VSS32真空步进电机 10⁻¹¹hPa 航天半导体设备用

德国Phytron VSS32真空步进电机详细介绍及选购建议

Phytron VSS 32.200.0.6-GPL 真空步进电机是德国 Phytron GmbH 旗下 VSS 微型真空步进电机系列的典型型号。Phytron 的 VSS 系列步进电机具有30多年的空间应用经验，这种特殊的2相混合式步进电机可在真空度高达10⁻¹¹ hPa的环境中使用。

VSS 32.200.0.6-GPL 采用两相混合式步进技术，法兰尺寸32 mm（NEMA14），保持扭矩40 mNm。整机选用低出气、低挥发原材料并经过真空除气处理，避免在真空腔体内释气污染，稳定真空度与内部洁净度。Phytron 真空电机专为真空、低温、高温、强辐射腔体设计，采用低放气航天级材料（TML＜1%，CVCM＜0.1%）。

核心参数表

德国Phytron VSS32真空步进电机 功能特点

1. 超高真空兼容，最高10⁻¹¹ hPa

VSS 32.200.0.6-GPL 可在极限真空度10⁻¹¹ hPa（UHV超高真空）下稳定运行。在半导体晶圆设备、粒子加速器、超高真空光学镜台等需要极高真空度的场景中，这一真空兼容能力可保障电机在真空腔体内长期可靠运行。

2. 宽温域运行，-20°C至+300°C

VSS 32.200.0.6-GPL 的标准工作温度范围为-20°C至+300°C。在高温真空腔体或低温环境中，这一宽温域设计可保障电机的稳定输出。电机采用全不锈钢壳体，适配多种极端工况。

3. 低放气航天级材料，保障真空洁净度

VSS 32.200.0.6-GPL 采用低出气、低挥发原材料，经过真空除气处理，避免在真空腔体内释气污染。材料总质量损失TML＜1%，可凝挥发物CVCM＜0.1%，符合航天级真空应用要求。在真空镀膜、光学检测等对洁净度有严格要求的场景中，这一特性可保障腔体真空度和内部洁净度。

4. 内置排气孔与干式固体润滑

VSS系列真空电机内置排气孔，可消除内部积气。轴承采用干式固体润滑，避免润滑油挥发污染真空腔体。全不锈钢壳体结构坚固，适配真空腔体内部装配。

5. 高定位精度与低振动运行

VSS 32.200.0.6-GPL 输出扭矩平稳、运转振动小，步进定位误差无累积，长期重复定位精度优异。支持1/512微步驱动，搭配编码器可实现重复定位±1μm以内的精度。适用于真空腔体精密位移驱动与微调作业场景。

6. 可选配精密行星/谐波减速箱及真空编码器

VSS系列可选配VGPL精密行星减速箱或谐波减速箱，以及真空编码器。用户可根据具体应用需求灵活配置，适配从精密光学调整到重载驱动的多样化真空应用。

适用场景

VSS 32.200.0.6-GPL 真空步进电机在多个高端应用领域广泛使用：

• 半导体晶圆设备：用于真空制程工位位移调节和精密加工

• 粒子加速器：用于加速器超高真空环境下的精密定位

• 超高真空光学镜台：用于真空光学实验平台的精密调整

• 航天模拟装置：用于航天测试工装的平稳动力输出

• 冷冻电镜：用于低温样品台的精密位移控制

• 质谱仪与真空微调镜座：用于分析仪器的真空精密调节

配套耗材

VSS 32.200.0.6-GPL 出厂时包含电机本体及标准配置。用户可根据具体应用需求选配以下配件：

德国Phytron VSS32真空步进电机 订货说明

VSS 32.200.0.6-GPL 采用 Phytron 标准型号编码体系：

• VSS = 微型真空步进电机系列

• 32 = 法兰尺寸32mm（NEMA14）

• 200 = 标准200步/转，步距角1.8°

• 0.6 = 额定相电流0.6A

• GPL = 精密行星减速箱配置

Phytron 提供四档标准真空规格，用户可根据工况需求选择相应后缀：

• FV：10⁻³ hPa，-20℃~+150℃，10⁴ J/kg

• HV：10⁻⁷ hPa，-20℃~+200℃，10⁵ J/kg

• UHV：10⁻¹¹ hPa，-20℃~+300℃，10⁶ J/kg

• UHVC：10⁻¹¹ hPa，-270℃~+40℃，10⁶ J/kg

订货时建议确认以下信息：

• 型号：VSS 32.200.0.6-GPL

• 真空等级：FV / HV / UHV / UHVC

• 是否需要减速箱（GPL / 其他）

• 是否需要真空编码器

• 是否需要双出轴或电磁刹车

• 特殊应用要求（如特定温度、特定辐射等级等）