​INFICON英福康 PCG554 皮拉尼‑电容复合真空计

INFICON英福康 PCG554 皮拉尼‑电容复合真空计 抗腐蚀版 陶瓷灯丝 恶劣腐蚀工艺宽量程真空压力测量

INFICON（英福康，瑞士）PCG554属于PCG55x系列抗腐蚀型皮拉尼‑电容隔膜复合真空计，采用全陶瓷涂层传感灯丝，适配含有腐蚀性工艺气体的严苛真空工况，实现5×10⁻⁵ mbar至1500 mbar宽量程压力采集，支持多种工业数字通讯输出，广泛用于半导体干法刻蚀、各类腐蚀性气体工艺腔体压力监测场景。

产品概述

PCG554将皮拉尼热传导测量单元与陶瓷电容隔膜传感器集成一体，真空接触部件采用氧化铝陶瓷与不锈钢材质，全陶瓷涂层灯丝结构，相比普通钨、镍灯丝版本，对等离子、卤素类腐蚀工艺气体具备更好耐受能力。10 mbar以上区间测量结果不受气体种类影响，无需气体修正换算；支持任意方位安装，传感器为即插可换结构，板载存储校准数据，更换传感器无需重新标定。设备提供模拟电压输出，可选RS485、PROFIBUS‑DP、EtherCAT等多种数字总线接口，可对接PLC与上位机系统，自带两路继电器设定点输出，适配产线联锁控制，满足SEMI、CE、RoHS行业合规标准。

主要技术参数

产品功能特点

1、全陶瓷涂层灯丝与陶瓷隔膜传感结构，耐受半导体干法刻蚀等工艺中的腐蚀性气体、等离子环境，降低灯丝被腐蚀失效风险，延长仪表使用寿命。

2、复合测量原理，皮拉尼负责中高真空区间，陶瓷电容隔膜负责粗真空至大气压区间；10 mbar以上输出不受气体种类影响，不同工艺气体无需做补偿换算，简化系统程序开发。

3、传感器单元支持即插即换，传感器本体内置出厂校准数据，现场更换后无需重新校准，减少停机维护时间。

4、通讯方式配置灵活，标配模拟输出，可选多种工业数字总线EtherCAT、PROFIBUS‑DP、RS485，适配半导体产线PLC、上位机控制系统对接。

5、两路可配置压力继电器输出，支持压力阈值报警、设备联锁保护，可实现真空系统安全回路控制。

6、支持任意方位安装，适配机台狭小安装空间；具备完善设备诊断功能，可读取传感器状态、告警信息，便于远程设备状态监控。

7、可搭配VacXplor软件实现压力数据采集、趋势记录；可选配本地显示模块，现场直接读取压力数值。

8、同系列可对比PCG550钨灯丝版本、PCG552镍灯丝版本，PCG554优先用于强腐蚀工艺工况。

典型应用领域

半导体干法刻蚀腔体压力监测；含有卤素等腐蚀性气体工艺真空系统压力测量；半导体设备前级真空、负载锁腔压力监控；化工腐蚀性气体真空工况压力采集；各类需要耐受工艺副产物腐蚀的粗‑中真空压力测量场景。

订货与选配说明

订货需要确认真空法兰接口、输出信号类型（模拟输出或数字总线版本），可选购配套显示模块、VacXplor软件、专用连接线缆、备用传感器单元。选型阶段结合工艺气体腐蚀等级、压力区间、产线通讯协议确认订货配置。

补充说明

本产品信息整理自INFICON英福康官方公开样本手册，设备实际性能、接口规格以原厂出厂设备、产品说明书为准；即使采用抗腐蚀版本，仍需要规避超出设备耐受范围的强腐蚀介质，按照设备操作规范进行使用。