INFICON英福康 Transpector MPS 四极杆残余气体分析仪RGA 质量数1‑200amu 真空腔体气体成分杂质检漏终点监控-流体仪表-产品-北京汉达森工业备件采购平台

品牌INFICON英福康	有效期至长期有效	最后更新2026-08-20 15:25
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INFICON英福康 Transpector MPS 四极杆残余气体分析仪RGA 质量数1‑200amu 真空腔体气体成分杂质检漏终点监控

INFICON（英福康，瑞士）Transpector MPS属于四极杆残余气体分析仪（RGA），提供1‑100amu、1‑200amu两种质量范围规格，用于真空腔体内残余气体组分识别、杂质污染监测、工艺终点判定以及真空检漏终点监控，可完成分压力定量检测，适配半导体刻蚀、PVD、CVD镀膜等工业真空工艺场景，实现真空过程诊断、工艺异常识别与腔体泄漏判定工作。

产品概述

Transpector MPS采用四极杆质谱检测原理，将真空内气体分子电离，按质荷比完成离子筛选，实现真空环境下各类气体组分的定性识别与分压力定量测量。设备具备法拉第杯基础检测器，可选配电子倍增器提升微量气体检出能力；搭载双灯丝离子源，灯丝组件可现场更换维护；传感器本体洁净车间装配包装，适配半导体洁净制程。设备支持TCP/IP以太网通讯，搭配FabGuard软件实现数据采集、谱图扫描、趋势记录、报警输出，适合集成到产线设备，实现24小时在线工艺监控，用于腔体本底分析、工艺杂质溯源、氦检终点判定、真空故障诊断等工作。

主要技术参数

参数项目	技术指标	备注
产品型号	Transpector MPS	四极杆残余气体分析仪RGA
质量数范围	1‑100 amu / 1‑200 amu	两种量程版本可选
检测器配置	法拉第杯FC标配；电子倍增器EM可选配	EM用于微量痕量气体检测
最小可检测分压	＜1.5×10⁻¹⁴ Torr	电子倍增器模式条件下
动态测量范围	9个数量级	宽范围分压力检测
最大工作压力	5×10⁻⁴ Torr	传感器工作上限压力
单数据点采集速率	最快3ms	模拟扫描、选峰监测模式
离子源结构	双灯丝设计，灯丝组件现场可更换	阳极、阴极、推斥极组件可现场维护更换
通讯接口	TCP/IP以太网	设备网络数据交互
配套软件	FabGuard Explorer	谱图扫描、数据记录、报警设置
真空接口法兰	CF法兰系列	按订货规格选型
传感器装配环境	洁净车间装配，双层包装	满足半导体洁净使用需求
合规标准	RoHS、CE	工业设备合规
工作环境温度	+10℃ ~ +40℃	设备外部环境条件

产品功能特点

1、四极杆质谱检测原理，可识别真空腔体内部多种残余气体组分，完成定性识别与分压力定量测量，用于工艺气体、水汽、碳氢杂质、泄漏气体分析。

2、双灯丝离子源配置，一支灯丝故障时可切换另一支，降低停机风险；灯丝、阳极阴极组件支持现场更换，无需整机返厂，降低维护成本。

3、标配法拉第杯检测器，可按需选配电子倍增器，提升痕量微量杂质气体检出能力，适配不同浓度等级检测需求。

4、宽动态测量范围，支持快速选峰监测与全谱扫描，单测点采集速度最高3ms，可实现工艺终点实时判定，也可用于检漏终点监控。

5、TCP/IP以太网通讯，便于接入产线控制系统；配套FabGuard软件，支持谱图存储、趋势曲线记录、自定义报警阈值，方便工艺数据归档追溯。

6、传感器在洁净车间完成装配测试，双层包装交付，降低外来污染物带入，适配半导体洁净腔体工况。

7、传感器本体结构紧凑，安装占用空间小，传感器探头与电子单元可分离互换，方便设备布局与备件替换。

8、可完成真空系统故障诊断，识别水汽、油蒸汽、工艺副产物等污染源，辅助工艺优化，减少工艺异常带来的产品不良。

典型应用领域

半导体刻蚀设备腔体残余气体与杂质监测；PVD、CVD镀膜工艺腔体气体组分分析；真空腔体检漏终点监控；真空设备本底残余气体诊断；工艺腔体污染溯源与工艺条件优化；热处理真空炉、真空涂层设备气体分析；科研真空系统气体成分检测场景。

订货与选配说明

Transpector MPS订货需要确认质量数范围1‑100amu或1‑200amu、检测器类型、真空法兰规格；可选择电子倍增器配件、配套线缆、FabGuard软件授权。选型阶段需要确认设备工作压力区间、待测气体组分、产线通讯对接条件。同系列更高性能型号可参考Transpector MPH残余气体分析仪。