Hellma高精度CaF₂ 氟化钙材料准分子激光应用优势介绍

三大核心优势，精准适配248nm KrF激光工况

1. UV级高纯材质，实现超低激光损耗

普通红外级CaF₂因含有铁等杂质，会在248nm波段产生明显吸收，造成激光能量衰减、镜片发热、设备效率下降。而该产品采用高纯UV级合成原料，彻底消除深紫外杂质吸收带，248nm波段透过率可达99.8%/cm以上。极低的光吸收有效减少热积累，避免激光工作时的镜片热畸变，保障设备长期高光效稳定运行。

2. (111)优选晶向，提升抗激光损伤能力

CaF₂(111)晶面为天然优质解理面，晶体结构规整、表面平整度高，本征激光损伤阈值远超其他晶向。区别于传统抛光工艺易产生的亚表面微裂纹、残余缺陷，该产品搭配精密精磨工艺，最大程度保留晶体原生性能，大幅提升高能248nm激光持续辐照下的耐受性，有效延长光学元件使用寿命。

3. 精磨工艺，工程场景性价比最优解

Rq 2 μm精磨表面无需满足高精度成像需求，精准匹配激光腔体内部非成像类光学结构。相较于超精抛光，精磨工艺规避了抛光缺陷带来的激光损伤隐患，元件耐用性更强；同时大幅降低加工成本，无需冗余高精度工艺，完美适配激光隔离、密封、结构支撑等内部工况，实现性能与成本的平衡。

核心应用场景

1. KrF准分子激光器核心光路组件

可作为激光腔体密封窗口、光束隔离片、光路隔板，高效传输248nm激光，同时分隔腔体气压区间、隔绝粉尘杂质，保护内部精密光学核心器件，是工业、科研KrF激光器的通用核心配件。

2. 深紫外精密检测设备配件

适配深紫外光刻配套设备、紫外光谱仪、激光精密检测仪器，用作防尘透光基板、光路校准基准片、光束防护元件，保障深紫外光路系统稳定输出。

3. 激光系统耐热透光结构件

依托CaF₂优异的导热性能（9.70 W/(m·K)）与稳定的热膨胀特性，可承受激光工作过程中的周期性热冲击，可作为精密光路透光垫片、安装基座，兼顾透光功能与结构支撑作用。