INFICON分析器

INFICON分析器

名称： INFICON Analyser

型号: TRANSPECTOR MPH

品牌: INFICON

产地：瑞士

 

INFICON是创新仪器、关键传感器技术和智能制造/工业4.0软件解决方案的领先供应商，可提高工具、流程和整个工厂的生产力和质量。这些分析、测量和控制产品对于检测空调/制冷和汽车制造中的气体泄漏至关重要。在光学设备、平板显示器、太阳能电池和工业真空镀膜应用的半导体和薄膜涂层的复杂制造过程中，它们对设备制造商和终端用户至关重要。

 

 

1.瑞士INFICON分析仪 产品说明

硅片价格的上涨和对成品的需求意味着废旧硅片的成本比以往更高。Transpector MPH 气体分析系统旨在为您的所有气体分析应用提供行业领先的性能，以最大限度地提高晶圆产量和减少工具停机时间。Transpector MPH 具有较低的总拥有成本和较高的平均故障间隔时间，与市场上任何其他残余气体分析仪 (RGA) 相比，它可以帮助您实现更多的利润。INFICON 利用其在气体分析和过程控制方面的专业知识，开发出具有行业领先的数据采集速度、最小可检测分压和信噪比的 RGA。所有这些都不会影响您对 INFICON Transpector 气体分析仪所期望的可靠性。

 

2. INFICON分析仪在瑞士的产品概述

Transpector MPS通过监测过程条件、检测杂质和检查泄漏，帮助您优化过程。Transpector MPS为客户提供Transpector的强大功能 Transpector MPS有100 amu和200 amu两种型号，可让您灵活地执行各种功能，如常规泄漏检测、真空诊断和烃类分析。这种多功能性使 Transpector MPS 成为真空炉、热处理和真空镀膜应用中的首选传感器。

 

3. INFICON分析仪的瑞士产品特点

新的 Transpector XPR 3+ 残余气体分析仪 (RGA) 提供行业领先的测量速度，以监测和控制现代半导体和显示器制造所需的快速过程变化。Transpector XPR 3+是一款成熟的四极和双离子源传感器，适用于溅射压力应用，与周期性的回转率测量相比，它的产品保护性能要好得多。无压转换设备、耐用部件以及快速检测和诊断问题的能力相结合，使工具的可用性、产品产量和产量最大化。Transpector XPR 3+双离子源室旨在限制涂层，以保持离子源的灵敏度，并延长传感器的平均维护时间。

瑞士INFICON分析器 瑞士INFICON分析器

4，瑞士 INFICON 分析仪产品原理

十多年来，INFICON Transpector CPM一直是半导体行业过程监控的残余气体分析仪（RGA）的市场领导者。Transpector CPM 3 是理想的 RGA 过程监控器，适用于新的和成熟的半导体过程，如 ALD、CVD、PVD 和蚀刻。INFICON 提供 Transpector CPM 3，这是一个成熟的泵和入口系统，带有新的传感器和电子设备。Transpector® 单一压力采样 (SPS) 残余气体分析仪在目标高压过程中为晶圆半成品和显示面板提供最佳保护。Transpector SPS 通过在单一压力下对气体泄漏和工艺污染进行最灵敏的检测，最大限度地减少了晶圆和面板的废品。Transpector SPS 为稳定的高压过程提供最可靠的过程监控，从而最大限度地提高过程吞吐量和产量。

 

5.瑞士INFICON分析仪的产品优势

这些仪器结合了一个简单和具有成本效益的进口系统，以及一个经过现场验证的离子源和泵组，提供了一个低风险和有价值的气体分析解决方案。Transpector SPS 适用于一般真空和工业应用，是冶金和热处理应用（如真空电弧重熔 (VAR)）的成熟解决方案。标准孔口、毛细管和旁通管的组合可用于从1E-4 Torr到大气压的采样过程压力。耐腐蚀的入口，离子源