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意大利ARZUFFI发电机 BDS-MF系列

    

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品牌ARZUFFI 有效期至长期有效 最后更新2022-02-18 18:20
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意大利ARZUFFI发电机 BDS-MF系列

意大利ARZUFFI发电机 BDS-MF系列
仲宇
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仲宇邮箱:tk9@handelsen.cn电话:010-64714988-225 仲宇微信二维码
名称:  ARZUFFI发电机 BDS-MF系列
型号:  ARZUFFI
产地:  意大利
 
  ARZUFFI发电机 BDS-MF系列
 
  Arzuffi BDS-MF是一款等离子发生器,其正弦输出电压为40 kHz,最大功率输出为5 kW或10 kW,专为PECVD等离子或等离子体激发而设计。
 
  该发生器能够提供高达10kW(5KW)至5000V的RMS输出。输出为两个对称电极的平衡型。
 
  典型的应用是大型工艺室的PECVD工艺。
 
  一个特点是内部输出的高压变压器,带有两个插座,以适应等离子体阻抗。
 
  该发生器设计用于现有机器上的即插即用安装。
 
  ARZUFFI发电机 BDS-MF系列参数:
 
 
 
BDS-MF5K
 
BDS-MF10K
 
输出功率
 
负载为2000欧姆负载时为5 kWatt
 
负载为2000欧姆负载时为10 kWatt
 
供电电压
 
3 X 400 VAC +/- 10%50/60 HZ,10A
 
(L1,L2,L3,PE)
 
3 X 400 VAC +/- 10%50/60 HZ,18 A(L1,L2,L3,PE)
 
尺寸
 
抽屉19英寸机架,4UI高度(177毫米)540毫米深度
 
抽屉19英寸机架,4UI高度(177毫米)540毫米深度
 
重量
 
20KG铝制容器
 
20KG铝制容器
 
冷却
 
空气冷却,高效散热器,该装置可在高达40°C的环境温度下工作
 
空气冷却,高效散热器,该装置可在高达40°C的环境温度下工作
 
输出电压
 
在2000欧姆负载时,tap2上的电压高达5000V
 
在2000欧姆负载时,tap2上的电压高达5000V
 
输出电流
 
TAP1上最高3.5 A,TAP2上最高2.5A
 
TAP1上最高3.5 A,TAP2上最高2.5A
 
输出连接器
 
2个Fischer 105连接器上的平衡输出,用于RG214 / U同轴电缆
 
2个Fischer 105连接器上的平衡输出,用于RG214 / U同轴电缆
 
等离子点火电压
 
大于5500 VRMS
 
大于5500 VRMS
 
电弧识别电路
 
过流一次回路,反应时间1微秒
 
过流一次回路,反应时间1微秒
 
接口
 
DB25连接器,模拟10V信号,24V数字
 
引脚排列,兼容ADVANCED ENERGY PEII©
 
RS232或PROFIBUS 发生器(可选)
 
DB25连接器,模拟10V信号,24V数字
 
引脚排列,兼容ADVANCED ENERGY PEII©
 
RS232或PROFIBUS 发生器(可选)
 
前面板
 
LCD显示2×40个字符
 
LCD显示2×40个字符
 
测量电路
 
RMS电压,RMS电流,负载上提供的有功功率
 
RMS电压,RMS电流,负载上提供的有功功率
 
调节电路
 
动力
 
动力
 
高压输出变压器
 
两个Tap1输出插座,用于1000欧姆负载,Tap2用于2000欧姆负载
 
两个Tap1输出插座,用于1000欧姆负载,Tap2用于2000欧姆负载
 
合规
 
EC可根据要求提供符合性声明
 
EC可根据要求提供符合性声明
联系方式
北京汉达森机械技术有限公司
总部地址:北京市顺义区 旭辉空港中心 C-1035
电话:010-64714988/010-64717020
传真:010-64714988/010-64717020 - 666
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