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IBS光学干涉仪ARINNA AR5 应用印刷电子生产线

    

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品牌IBS Precision Engineering 有效期至长期有效 最后更新2022-04-13 10:03
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IBS光学干涉仪ARINNA AR5 应用印刷电子生产线

IBS光学干涉仪ARINNA AR5 应用印刷电子生产线
 
 
 ARINNA能够测量离散的步高和表面质量,垂直分辨率为 <2nm。巨型像素摄像头可在 1 秒内捕获表面扫描。可用于在线缺陷检测和特征化、光学表面和结构测量、3D表面拓扑测量、MEMS/NEMS 检测等。
 
 
AR5 系统已集成到生产用于汽车应用的印刷电子的生产线中。根据公差值评估 100 纳米到 1 微米深度的激光划线,以控制激光工艺。
 
技术参数
 
李银
QQ:3636923259  点击这里给我发消息
手机:17150029804
电话:010-64714988-222
传真:010-64714988-668
邮件:tk6@handelsen.cn
李银邮箱:tk6@handelsen.cn电话:010-64714988-222 李银微信二维码
Z 范围 (μm) 14
每次捕获 FOV (毫米) 1,1 x 1,1
Z 分辨率 (μm) 0,002
结果时间(秒) 1,5
每次捕获 FOV (毫米) 0,55 x 0,55
Z 分辨率 (μm) 0,002
工作距离(毫米) 34
分辨率为 15kHz 有色 0,007%,有色 0,009%
零/偏移调整 是的
典型的热漂移 0,01% F.S.*/C
LED 范围指示器 是的
其他功能 带宽:250 赫兹、1 kHz、10 kHz、15 kHz(用户可选)
 
 DM_20211117150330_001
 ARINNA 是一种高速干涉仪,它结合了纳米级表面测量的优点、坚固性和小巧的占地面积,使其能够在您需要的地方进行在线测量。虽然干涉仪带来了速度、精度和无损测量的优势,但阶梯结构和嘈杂的环境通常是它们的局限性。ARINNA 并非如此。
ARINNA 采用的波长扫描技术避免了在测量头中进行机械扫描的需要,正如一些干涉测量系统所采用的那样。这克服了对测量速度和系统集成(例如头部 360 度定向的能力)的相关限制。对于在线使用,ARINNA 的设计中集成了获得专利的振动补偿技术。这种技术避免了对大型和/或复杂的隔离系统的需要;有时是高精度光学测量系统在现场应用的限制因素。
 
 
 
 
 
IBS光学干涉仪ARINNA AR5 应用印刷电子生产线
联系方式
北京汉达森机械技术有限公司
总部地址:北京市顺义区 旭辉空港中心 C-1035
电话:010-64714988/010-64717020
传真:010-64714988/010-64717020 - 666
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