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IBS光学干涉仪ARINNA AR10 分辨率为 15kHz

    

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品牌IBS Precision Engineering 有效期至长期有效 最后更新2022-04-13 10:43
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IBS光学干涉仪ARINNA AR10 分辨率为 15kHz

 IBS光学干涉仪ARINNA AR10 分辨率为 15kHz
 
 
 ARINNA能够测量离散的步高和表面质量,垂直分辨率为 <2nm。巨型像素摄像头可在 1 秒内捕获表面扫描。可用于在线缺陷检测和特征化、光学表面和结构测量、3D表面拓扑测量、MEMS/NEMS 检测等。
 
 
李银
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电话:010-64714988-222
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邮件:tk6@handelsen.cn
李银邮箱:tk6@handelsen.cn电话:010-64714988-222 李银微信二维码
技术参数
 
AR10
Z 范围 (μm) 2,4
结果时间(秒) 1,5
工作距离(毫米) 33,5
分辨率为 15kHz 有色 0,009%,有色 0,011%
零/偏移调整 是的
典型的热漂移 0,04% F.S.*/C
LED 范围指示器 是的
其他功能 两个环境范围 - 标准到 125C,高到 200C
 
 
 ARINNA 是一种高速干涉仪,它结合了纳米级表面测量的优点、坚固性和小巧的占地面积,使其能够在您需要的地方进行在线测量。虽然干涉仪带来了速度、精度和无损测量的优势,但阶梯结构和嘈杂的环境通常是它们的局限性。ARINNA 并非如此。
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ARINNA 采用的波长扫描技术避免了在测量头中进行机械扫描的需要,正如一些干涉测量系统所采用的那样。这克服了对测量速度和系统集成(例如头部 360 度定向的能力)的相关限制。对于在线使用,ARINNA 的设计中集成了的振动补偿技术。这种技术避免了对大型和/或复杂的隔离系统的需要;有时是高精度光学测量系统在现场应用的限制因素。
 
ARINNA 能够以 <2nm 的垂直分辨率测量离散的台阶高度和表面质量。百万像素相机在 1 秒内捕获表面扫描。它可用于在线缺陷检测和表征、光学表面和结构测量、3D 表面拓扑测量、MEMS/NEMS 检查等。
 
 
 
 
  IBS光学干涉仪ARINNA AR10 分辨率为 15kHz
联系方式
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