德国PI 精密移台 N-765 Z向位 参数

PI (Physik Instrumente) 集团

PI在精密定位领域的卓越技术，新的驱动概念、产品和系统解决方案在过去几年中为PI集团带来了持续不断的市场份额增长和健康的公司发展。高度垂直化的制造使

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PI (Physik Instrumente)简介

PI集团全球共有六个生产点，四家位于德国，两家位于海外，全球超过1000位员工，关键市场中有15家子公司，超过284项专利和专利申请，40多年的压电陶瓷技术经验。

PI (Physik Instrumente)  N-765 精密Z向位移台

--------具有亚纳米级编码器分辨率的NEXACT®压电步进驱动器

1.      采用PIOne增量编码器实现直接测量，分辨率为0.5纳米

2.      最小位移达1纳米

3.      行程为6.5毫米

4.      负载能力达25牛

5.      可以直接安装在N-565线性定位器上

NEXACT®参考级线性定位器

带NEXACT® PiezoWalk®驱动器的线性定位器可实现较长行程范围内的纳米级高精度定位。其配置直接测量线性编码器和交叉滚柱轴承，可实现最高精度。紧凑、扁平的设计使定位器能轻松实现机械集成。工作所需电压低。

PiezoWalk®技术：高分辨率、低磨损

PiezoWalk®技术将压电陶瓷促动器与压电电机的技术优势结合在一起。PiezoWalk®步进驱动器不仅能提供亚纳米级分辨率、较大的力和高刚性，而且根据其驱动原理，其还能实现理论上无限的行程。不同于其他压电机动化驱动器原理，PiezoWalk®步进驱动器不受滑动摩擦作用的影响。其是基于几个压电陶瓷促动器的静摩擦接触，这几个促动器沿一个动轮步进。前馈时，促动器被从动轮处物理提升，几乎不会造成任何磨损。在促动器上相对于动轮施加预载可确保步进驱动器自锁。因此，步进驱动器静止状态下将保持位置，关机时可实现机械稳定（无伺服抖动）。静止状态自锁，无能量消耗，无热量产生。

带PIOne线性编码器用于直接位置测量

高分辨率PIOne编码器由PI研发，在对测量数据进行相应处理后，可实现远低于1纳米的位置分辨率。光学非接触式PIOne编码器基于干涉测量原理。其以极高的精度直接在运动平台上进行实际位置测量，因此非线性效应、机械作用或弹性形变不会对位置测量造成影响。由于信号周期仅为0.5微米，信号质量高，PIOne编码器的线性误差小于1%。PIOne编码器在研究参考信号时支持方向感应。

交叉滚子轴承

利用交叉滚柱轴承，滚珠轴承中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此，它们的刚度明显提高，需要的预载更小，这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱轴承的另一个特征是高导向精度和负载能力。滚动主体架的受迫导向防止滚柱轴承发生蠕变。

应用领域

样本操纵、样本定位、高精度和高稳定性光学或机械部件、半导体行业中的精密机械部件、显微操纵、显微镜、自动化、有限空间内的应用、真空或无磁性环境中的应用。

德国PI 精密移台 N-765 Z向位 参数 

 PI (Physik Instrumente)  N-765 精密Z向位移台

规格参数

主动轴：Z

行程：6.5毫米

系统分辨率: 0.5纳米

集成传感器: PIOne线性编码器：增量，光学，直 接测量

传感器分辨率: 0.5纳米

最小位移:1纳米

速度，闭环:2.5毫米/秒

单向重复精度:6纳米

双向重复性:7纳米

Z向运动时X向上的线性串扰:1.8微米

Z向运动时Y向上的线性串扰:2微米

Z向运动时θX向上的转动串扰:25微弧度

Z向运动时θY向上的转动串扰:41微弧度

Z向运动时θZ向上的转动串扰:34微弧度

最大负载容量:25牛

电机类型: NEXACT压电陶瓷步进驱动器

驱动力:20牛

保持力（被动）:25牛

工作电压:-10到45伏

工作温度范围: 10至50 °C

质量: 920克

材料: 铝，阳极氧化致黑

电缆长度:3米

连接器: HD Sub-D 15针（公头）

传感器连接器: Sub-D 15（母头）

推荐电控: E-861.1A1

订购信息

N-765·060 精密Z向位移台，行程为6.5毫米，PIOne线性编码器，分辨率为0.5纳米，

推/拉力为25牛，尺寸为65 X 110x56毫米（宽 × 长 × 高），NEXACT压电步进驱动器.

德国PI 精密移台 N-765 Z向位 参数