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| 品牌德国MLase | 有效期至长期有效 | 最后更新2026-09-07 13:25 |
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德国MLase MLI‑500系列准分子激光器 193nm 248nm紫外工业准分子激光光源
德国MLase MLI‑500系列准分子激光器
MLI‑500系列是德国MLase推出的紧凑型工业准分子紫外激光光源，支持ArF(193nm)、KrF(248nm)两种常用输出波长，分为风冷AC版本与水冷LC版本，最高重复频率500Hz，适配科研实验、微加工、半导体、材料消融等多类场景，设备采用模块化结构，便于集成到各类整机系统当中。
核心技术参数
| 参数项目 | ArF‑193nm | KrF‑248nm |
| 输出波长 | 193 nm | 248 nm |
| 最大重复频率 | 500 Hz | 500 Hz |
| 稳定单脉冲能量 | 6 mJ | 10‑12 mJ |
| 稳定平均输出功率 | 3.0 W | 5.0‑6.0 W |
| 能量稳定性 | ≤2% | ≤2% |
| 脉冲宽度(FWHM) | 5‑10 ns | 5‑15 ns |
| 光束尺寸(V×H) | 6×3 mm | 6×3 mm / 6×6 mm |
| 光束发散角(V×H) | 2×1 mrad | 2×1 mrad |
| 冷却方式 | 风冷AC / 水冷LC可选 | 风冷AC / 水冷LC可选 |
| 供电规格 | 230V，50/60Hz | 230V，50/60Hz |
| 整机外形尺寸 | 560×315×445 mm | 560×315×445 mm |
| 设备重量 | 75 kg | 75 kg |
| 外壳防护等级 | IP20 | IP20 |
产品主要特点
MLI‑500系列准分子激光器采用优化预电离电极与气体流场结构设计，输出光束具备均匀平顶光斑分布，可为掩膜投影光路提供质量可靠的紫外光源。
设备提供风冷、水冷两种冷却配置，风冷型号部署简单，无需配套水冷机组；水冷LC版本支持长时间连续占空比运行，适配不间断加工工况需求。
短脉冲深紫外输出实现光化学冷加工模式，加工过程热影响区域小，适合玻璃、陶瓷、聚合物、薄膜等热敏感材料加工，降低材料受热变形、开裂的情况。
整机结构紧凑，标准化电气与光学接口，支持OEM集成，可对接微加工设备、光谱分析平台、实验工装等各类系统；模块化设计，波长、冷却方式可按需选型匹配工况。
脉冲能量输出波动小，保障批量加工、长时间实验条件下工艺结果具备良好重复性，降低批次之间结果差异。
主要应用领域
半导体与微电子：玻璃基板微通孔加工、晶圆微结构制备、掩模检测、2.5D/3D封装相关工艺开发。
材料微加工：聚合物膜层刻蚀、PI膜剥离切割、陶瓷/玻璃打孔、表面微结构直写、紫外标记、涂层去除。
光电行业：光纤布拉格光栅FBG刻写、微光学器件加工与检测。
科研分析：脉冲激光沉积PLD、LA‑ICP‑MS激光剥蚀采样、材料消融实验、高校实验室紫外光源平台搭建。
显示行业：柔性OLED相关膜层加工、薄膜器件研发试制。
型号选型说明
MLI‑500‑AC：风冷版本，适合间歇式作业，研发实验室、中小批量试制场景。
MLI‑500‑LC：水冷版本，支持连续高占空比运行，偏向工业连续加工场景。
可区分SP标准能量、HP高脉冲能量子型号，根据实际工艺所需脉冲能量完成配置选择，其他波长规格可咨询评估定制可行性。
