Levitronix BPS‑600磁悬浮泵 半导体大槽体PTFE高纯CMP浆料输送泵

BPS‑600 大流量微电子超纯泵

BPS‑600为Levitronix莱维创思大流量等级磁悬浮无轴承离心泵，采用主动磁悬浮技术，叶轮无机械轴承、无动密封，无物理接触运转，面向12寸先进晶圆产线大槽体循环工况，适配大流量高纯化学品、CMP研磨浆料输送；整套系统由泵头LPP‑600、电机单元LPM‑600、外置控制器LPC‑600组成，支持AS防静电版本、ATEX防爆版本、不锈钢湿端版本可选。

核心技术参数

产品功能特点

主动磁悬浮悬浮驱动，叶轮全程悬浮运转，不存在机械摩擦副，规避轴承磨损产生颗粒碎屑，降低高纯流体输送过程颗粒污染与金属离子析出；无动密封结构，消除密封老化失效带来的介质泄漏风险，满足12寸先进制程严苛洁净工艺要求。

泵壳、叶轮采用高纯氟塑料材质，耐受各类强酸强碱、有机溶剂；AS防静电版本适配静电敏感介质；ATEX防爆版本用于易燃易爆溶剂输送；ST不锈钢版本适配特殊溶剂工况；宽大流道间隙，减少CMP浆料颗粒滞留堆积，低剪切输出，保障浆料状态稳定。

外置控制器LPC‑600实现转速电子无级调节，流体输出无脉动，流量压力调节区间宽；完备电气接口，可接入工厂PLC系统，外接流量、压力传感器实现闭环工艺控制；可读取泵运行状态数据，便于产线状态监控与预防性维护。

整机无易损耗轴承与动密封件，减少备件更换频次，降低量产产线维护工作量；多版本可选，覆盖普通、防静电、防爆、不锈钢多种工况，适配大槽体循环、大流量湿法量产设备集成。

主要应用领域

多用于12寸半导体晶圆湿法处理、大槽体药液循环、晶圆清洗、CMP浆料循环输送、先进封装；也适配光伏电池制备、平板显示制造，用于大流量高纯化学品、研磨浆料、腐蚀性介质的输送循环，面向成熟量产半导体产线配套。

配套选购提示

结合工艺流量压力参数选择标准、防静电AS、ATEX防爆或者ST不锈钢版本；闭环控制需要额外配置流量或者压力传感器；介质温度、粘度不可超出设备规格；可按需选购不同长度FEP延长线缆；泵头为介质接触部件，建议结合工况定期检查；整套系统泵头、电机、控制器需要同系列匹配，不可随意跨系列混用组件。