LFS‑08在线式超声波流量传感器 Levitronix PFA高纯半导体流量计量仪

LFS‑08 在线式超声波流量传感器

LFS‑08为Levitronix莱维创思LEVIFLOW系列在线式超声时差流量传感器，接液通道采用高纯PFA材质，无内部运动部件，适配半导体、光伏、生物工艺高纯腐蚀性流体流量计量；需要搭配LFC‑1C单通道转换器或者LFC‑6CIO六通道转换器使用，具备气泡识别检测功能，可与BPS、PuraLev系列磁悬浮泵组成闭环流体控制系统。

核心技术参数

产品功能特点

管段式超声时差测量结构，传感器内部无叶轮、无轴承等运动零件，不会产生磨损颗粒，不会对高纯流体造成二次污染；接液PFA材质耐受强酸、强碱、有机溶剂，适配半导体严苛药液工况。

内置DSP数字信号处理单元，具备气泡识别能力，管路存在少量气泡时仍可维持稳定测量输出；支持零点校准、体积累计统计，可输出流量报警、故障报警信号，便于产线工艺监控。

丰富电气接口，模拟量输出、Modbus RS485总线，可接入PLC控制系统；单通道转换器可驱动1支传感器，六通道转换器可同时接入6路传感器，多传感器组网可以减少整机布线数量，适配设备多回路监测需求。

可与Levitronix磁悬浮泵BPS系列、PuraLev系列搭配，组成完整闭环流量控制系统；传感器本体体积小巧，便于集成嵌入半导体湿法设备、生物工艺设备内部；湿端流道光滑，死角少，便于在线冲洗。

主要应用领域

多用于半导体晶圆清洗、湿法刻蚀、CMP化学机械抛光、先进封装；光伏、平板显示药液流量监测；也适配生物制药TFF过滤、缓冲液输送，用于高纯水、腐蚀性化学品、低颗粒浆料的在线流量计量。

配套选购提示

传感器本体不含信号转换器，需要单独选配LFC‑1C或者LFC‑6CIO转换器；多测点场景优先选择六通道转换器；安装时前后预留足够直管段保障测量精度；介质温度、压力、粘度不可超出规格；如需更高介质温度可选择高温版本LFS‑08H；可搭配厂家配置软件完成参数调试。