BPS‑i30微电子超纯无轴承泵 Levitronix磁悬浮半导体小流量离心泵

BPS‑i30 微电子超纯无轴承泵

BPS‑i30为Levitronix莱维创思集成驱动式磁悬浮无轴承离心泵，采用主动磁悬浮技术，叶轮无机械轴承、无动密封，无物理接触转动，适配半导体小流量超纯化学品、浆料输送，电机与控制器一体化集成，无需外接独立控制器，可用于晶圆湿法工艺、先进封装、电镀、光伏等对颗粒污染控制严苛的流体输送工况，具备标准、高压、大流量三种版本可选。

核心技术参数

产品功能特点

主动磁悬浮悬浮驱动结构，叶轮全程悬浮运转，不存在机械摩擦副，不会因轴承磨损产生颗粒碎屑，可降低高纯流体输送过程中的颗粒污染与金属离子析出，适配芯片制造严苛洁净要求。无动密封结构，规避密封件老化失效带来的介质泄漏风险，适合腐蚀性高纯化学品、CMP浆料输送。

电机与控制器一体化集成设计，整机体积紧凑，相比气动泵、传统磁力泵占用安装空间更小，设备布线简单，便于集成到半导体工艺设备内部。叶轮位置高频闭环监测，转速电子无级调节，输出流体无脉动，流量压力输出稳定；低剪切设计，对敏感浆料、易损伤介质友好，无狭小缝隙死角，减少颗粒滞留堆积风险。

丰富的电气接口，支持Modbus通讯、模拟量信号，可接入工厂PLC系统，搭配外接流量、压力传感器可以实现闭环工艺控制；可读取泵运行状态数据，便于设备状态监控与预防性维护。湿端全部采用高纯耐腐氟塑料材质，耐各类强酸强碱、有机溶剂，可支持在线药剂冲洗清洁。

提供标准、高压、大流量多个版本，可根据现场流量、压力工况选型；整机无易损耗轴承与动密封件，减少备件更换频次，降低后期维护工作量。

主要应用领域

多用于半导体湿法处理工艺、Flip‑chip先进封装、MEMS制造、晶圆清洗、CMP浆料输送、电镀工艺；也适配光伏电池制备、平板显示、硬盘制造、特种油墨输送、制药流体输送、液流电池循环等场景，用于小流量高纯化学品、研磨浆料、腐蚀性介质的输送循环。

配套选购提示

需要结合工艺实际流量、压力参数选择标准版、高压版或者大流量版本；介质具备防静电需求，可选购防静电泵头组件；闭环控制需要额外配置流量或者压力传感器；安装时注意介质温度、粘度不要超出设备规格；泵头为介质接触部件，建议结合工况定期检查；整机为集成一体泵，不支持随意拆分驱动与泵头。